PCVD - Luiz Zambom
Sputtering - Ronaldo ou OKA
Plasma (sala limpa) e litografia - Ronaldo
Plasma II (19b) - Bento ou Nelson Ordonez
Capelas 19B - Humber ou Ronaldo
Perfilometro e Elipsometro - Nelson Ordonez ou Bento ou Gilberto
SEM - Fabio
RTP e AFM - Sebastiao
Infra-estrutura - Adir
Oficina - Elisio
Micros - Renato
Sala Limpa (em geral) - Ronaldo ou Luiz Zambom
PECVD (19b) - Ana ou Carlos Viana

Demais eqtos nao tem um responsavel pre definido, mas todos locados na
sala limpa sao de responsabilidade do pessoal de sala limpa quanto a
manutencao ou explicacoes sobre o uso.