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REGRAS PARA A UTILIZAÇÃO DAS INSTALAÇÕES DA DMI

(VERSÃO-1.1 - 1998)

0) OBSERVAÇÕES DE ORDEM GERAL

O orientador de novos estagiários ou alunos de mestrado/doutorado deverá cuidar para que o orientado fique a par de todos os procedimentos e regras do uso da infraestrutura de pesquisa da DMI que consta neste documento, além de oferecer treinamento prático dos procedimentos laboratoriais. Somente depois de constatado o completo domínio do conteúdo deste documento por parte do orientado ser-lhe-á concedido autonomia no uso das instalações da DMI. Fica ao critério do orientador liberar ao uso das instalações. Será obrigatória a apresentação de novos usuários da sala limpa ao Ronaldo e ao Luís sob pena de expulsão do orientado da sala limpa. Vale a ressalva de que mesmo os alunos da FATEC que já usaram a sala limpa nas aulas deverão receber toda a educação formal do material contido neste documento antes de ser liberado ao uso da infraestrutura da DMI.

1) SEGURANÇA

Quando houver uma emergência será soado o alarme sonoro, dois toques contínuos, indicado uma situação de alta periculosidade. Todas as pessoas deverão evacuar a sala limpa, bem como as salas de caracterização, a administração e o mezanino, dirigindo-se à saída mais próxima, evitando de passar em frente à sala limpa. As pessoas que se encontrarem na sala da administração ou no mezanino deverão dirigir-se à lanchonete e as pessoas nas salas de caracterização, para a oficina do LSI. As pessoas poderão voltar ao laboratório somente depois de autorizadas pelos responsáveis (Ronaldo, Luís, Adir, Bento, Nelson, Carlos ou Alexandre).

2) LAY-OUT

A partir de março de 1998 a sala limpa teve um aumento em sua área e associado a isso foram efetuadas algumas mudanças de lay-out. A mudança que mais afeta os usuários é a redução da antesala e consequente encurtamento do cabideiro para os aventais. Em vista desse encurtamento não é mais possível comportar todos os aventais na antesala e o uso do cabideiro passará a ser reservado às pessoas que estejam usando a sala limpa no dia. Não serão permitidas pernoites de aventais no cabideiro. Todos os usuários deverão acondicionar o conjunto avental, gorro e pantufas em sacos plásticos e mantê-lo nos escaninhos com seus nomes, que fica no corredor. O conjunto destinado aos visitantes é de uso EXCLUSIVO de visitantes.

3) PROCEDIMENTOS DE SALA LIMPA

Para se vestir o avental deve-se proceder da seguinte forma:

  1. colocar o gorro,
  2. vestir o avental (abotoar de cima para baixo),
  3. calçar a pantufa. Na entrada da sala limpa existe um tapete adesivo azul que remove partículas dos calçados. Com o pé já com a pantufa, e somente com este pé, deve-se pisar este tapete, mantendo o pé descalço ainda no vestiário.
  4. colocar as luvas de plástico. Um dos objetivos da luva é evitar tocar o interior da sala limpa diretamente com as mãos e evitar a contaminaçao por sódio. Portanto, mesmo havendo dificuldades em se descolar as luvas, evite de tocar a ponta dos dedos das luvas com as mãos.
Para sair da sala limpa, proceder exatamente ao contrário. Valem duas ressalvas: as luvas podem ter resquícios de produtos químicos, especialmente nas pontas dos dedos. Portanto, para removê-las recomenda-se segurar a "borda" da luva e removê-la ao mesmo tempo em que a vira ao avesso. Deve-se tentar também minimizar a contaminação da superfície do avental por sódio e para isso não se deve enrolar o avental no braço. Recomenda-se também manter o avental de avesso quando se acondiciona nos sacos plásticos.

Por questõe de segurança e também para minimizar a liberação de particulado, na sala limpa é proibido:

  1. vestir bermudas ou saias,
  2. calçar sandálias ou outros calçados abertos,
  3. calçar sapatos de salto alto.
As pessoas que costumam vir ao laboratório com bermudas ou saias, recomenda-se manter uma troca de roupa (abrigo esportivo, por exemplo), e as pessoas que venham com sapatos de salto alto, manterem um tênis de reserva, sob o risco de perderem o dia pela proibição de adentrarem a sala limpa.

Os aventais, gorros e pantufas deverão ser lavados pelos próprios usuários com a seguinte frequência:

aventais e gorros

pantufas Existem óculos protetores no LSI. Algumas estão alocadas a pessoas que os usam mais intensivamente (ex: Malu e Ângela) e outras são de uso comum. Existem três tipos de óculos:
  1. para proteger dos raios UVs (Ultra Violetas), que devem ser usados para trabalhar com plasmas,
  2. para proteger contra luminosidade excessiva, que devem ser usados nos fornos,
  3. convencionas, que devem ser usados em bancadas químicas. O uso desses óculos é OBRIGATÓRIO.
Em particular, com relação o uso das capelas químicas, valem as seguintes ressalvas. É veementemente proibido trabalhar nas capelas com lentes de contato, mesmo usando os óculos protetores. Lembre-se que os óculos protegem contra respingos mas não contra vapores. O vapor de ácido sulfúrico, em particular, cola a lente na retina (!!!) e uma vez que isso ocorra é inevitável a perda da visão.

As pinças que encontram-se na capela química não podem ser retiradas de lá e nem poderão ser utilizadas para fins que não os permitidos nas capelas. A medida é para evitar a contaminação das lâminas processadas na capela. O cuidado deve ser redobrado no caso de limpezas e corrosões que antecedem o uso do forno térmico (metais, sódio, etc).

As operações permitidas na capela da salas limpa são:

  1. limpezas (apenas as padrões)
  2. corrosões
Para as operações na capela da sala limpa devem ser usados os kits específicos. Estes kits não podem ser usados para fins não previstos, muito menos fora da capela da sala limpa. Qualquer pessoa que necessite realizar um processo na capela que não seja previsto deverá consultar o Ronaldo ou Luiz. Problemas ocorridos com o kit também deverão ser obrigatoriamente relatados ao Ronaldo Luiz para que o próximo usuário não seja prejudicado.

Está sendo comum as pessoas tirarem os carregadores dos béqueres e os colocarem sobre papel toalha, na capela, para facilitar o manuseio das lâminas. Tal procedimento é terminantemente proibido, pois causa contaminação dos carregadores.

O sistema de água DI foi trocado por dois conjuntos que trabalham com filtros de osmose reversa, com capacidade de produção de 120 l/h, de modo que não deverão se repetir os problemas de falta d'água. Deve-se proceder da seguinte forma para usar a água DI.

  1. checar o volume de água,
  2. checar se a válvula na sala limpa está aberta (esta válvula deve estar sempre aberta, em princípio) e apertar o "gatilho" para liberar a água. O braço em que fica montado o "gatilho" é bastante frágil e esta operação deve ser efetuada com muito cuidado,
Em casos de acidentes com produtos químicos, usar o chuveiro e o lava-olhos que fica bem no meio da sala limpa lavando a região atingida com quantidades torrenciais de água. O fluxo deve ser mantido por pelo menos 15 minutos. Ao mesmo tempo, acionar o alarme que fica logo ao lado do chuveiro.

Como é importante garantir o funcionamento do chuveiro, nos dias da limpeza deve-se ligar um pouco o chuveiro e garantir seu funcionamento.

Qualque processo na capela deve ser iniciado antes das 16:00 h. Uma vez iniciado o processo antes das 16:00 h, ganha-se o direito de finalizar o processo, mas quando for ultrapassar as 18:00 h deve-se pedir o acompanhamento de mais uma pessoa DENTRO DA SALA LIMPA, além de avisar o Ronaldo ou Luís.

Está sendo montado na sala-limpa uma nova capela para o Sebastião, destinada à corrosão de lâminas contaminadas por Ni e Cu.

4) SALA 19-B

Por ora não é necessário o uso de pantufas e aventais, mas passarão a ser obrigatórias após a remodelação e a limpeza da sala (data não definida).

As capelas da sala 19-B destinam-se apenas ao pós-processamento, pois usa-se KOH que causa contaminação por vários metais pesados, incluindo o ouro (Au). Portanto, uma lâmina que tenha sido manipulada nas capelas da sala 19-B, EM HIPÓTESE ALGUMA poderá ser admitida na sala limpa. Pense duas vezes antes de usar estas capelas!! Qualquer dúvida, consultar o Ronaldo ou Luiz.

5) PROCESSOS DISPONÍVEIS NO LSI-DMI

  1. capela: limpezas química
  2. fornos
  3. LPCVD: reservas com o Luís. Trata-se de um equipamento com perigo potencial. Jamai poderá ser manipulado sem a presença do Luís.
  4. Plasma:
  5. evaporadora
  6. alinhadora (agendar com Ronaldo)
  7. RTP (atualmente em fase de manutenção)
  8. PECVD (reservas com o Nilton ou Ana)
  9. Perfilômetro e elipsômetro: procurar pelo Nelson
  10. SIMS: procurar pelo Oka.
  11. Difratômetro de raio-X: procurar pelo Douglas.
  12. Microscópio eletrônico de varredura (SEM): procurar pelo Fábio.
  13. Caracterização elétrica de dispositovos: procurar pelo Vítor.
  14. TRXFA: procurar pelo Prof. Sebastião.
OBSERVAÇÕES
  1. As capelas somente poderão ser reservadas por um período, em princípio. Além disso, caso a capela não esteja sendo usada 15 min após o início da reserva, sem consentimento prévio do Ronaldo ou Luiz, fica automaticamente cancelada a reserva liberando-se o seu uso aos interessados.
  2. Começará a ser usado um fotoresiste novo, o que pode acarretar alguns problemas para processos mais críticos. Um trabalho de caracterização do fotoresiste ainda será realizado.
  3. Os novos reveladores TMAH estão disponíveis e passa a ser proibido o uso de KOH diluído. 4. Temos 2 novos hot-plates.
6) CAPELAS QUÍMICAS

Todos os usuários deverão zelar pela manutenção da ordem no carrinho de produtos químicos. Caso seja constatada a falta de um produto químico, pedi-lo ao Ronaldo, Luís, Bento ou Nelson. As garrafas vazias de produtos químicos deverão ser enxaguadas por dentro e por fora nas capelas e deixadas no lado ESQUERDO da sala limpa para serem removidas no dia da limpeza.

7) MATERIAIS DE CONSUMO

Todo e qualquer material de consumo será fornecido pelo LSI. A medida, além da intenção de não onerar os usuários, tem também por objetivo manter o rígido controle necessário para garantir a integridade das instalações. Por exemplo, quando for necessário montar um conjunto de béqueres para um uso especial, este jamais poderá ser montado individualmente, pois existem cuidados especiais quanto ao tipo de béquer permitido, a manipulação do conjunto, sua manutenção, etc.

As lâminas serão compradas com reserva técnica, com previsão da aquisição de aproximadamente 500 delas para este ano (1998). O controle do fornecimento é feito pelo Ronaldo e pelo Luís. Veja que não é uma quantia muito grande para o ano, portanto pede-se bom senso por parte dos usuários.

8) SALA DE CARACTERIZAÇÃO-I

Passa a ser obrigatório o uso de avental e pantufas para entrar na SALA DE CARACTERIZAÇÃO-I, além do banco, que demarca o início da região de acesso controlado. Tanto os aventais quanto as pantufas serão de uso coletivo. As pantufas encontram-se sobre o banco e os aventais, no armário, na entrada da sala. Os aventais da sala limpa são de uso exclusivo da sala limpa e não podem ser usados na SALA DE CARACTERIZAÇÃO-I.

Não serão mais reveladas as fotos do SEM na SALA DE CARACTERIZAÇÃO-I pois os produtos químicos usados na revelação são extremamente corrosivos e têm danificado o equipamento de SEM. Passaremos a tirar fotos com negativos especiais p&b que podem ser revelados em máquinas automáticas e usaremos as reservas técnicas da FAPESP para cobrir os gastos da revelação, nos caso dos alunos bolsistas.

9) LIMPEZA DE SALA LIMPA

A sala limpa será limpa todas as segundas-feiras no período das 9:00 às 11:00 h em regime de mutirão seguindo o calendário já definido pelo Luís. A limpeza é obrigatória e aquele que se omitir será proibido de utilizar a sala limpa até a regularização da sua situação. Recomenda-se que as pessoas que souberem previamente da impossibilidade de comparecer no dia da sua limpeza arranjem um substituto para não prejudicar as demais pessoas do grupo. (redigido por Oka / revisado por Ronaldo)