Resumo: Trabalho em andamento para a obtenção do Título de Doutor em Engenharia Elétrica
    Área de Concentração: Microeletrônica
    Orientador: Prof. Dr. Rogério Furlan

    Temos como finalidade o desenvolvimento de um microssensor de vazão empregando tecnologia de microeletrônica e de construção de microestruturas microeletromecânicas, MicroElectroMechanical Systems (MEMS).
    O microdispositivo em desenvolvimento empregará dois principios de medida de vazão: a medida Calorimétrica e por Tempo de Vôo.
    Na medida calorimétrica tem-se uma resistência de aquecimento entre duas resistências que têm a função de elementos sensores de temperatura. A diferença de temperatura entre os sensores é uma medida da vazão.
    Já na medida da vazão por Tempo de Vôo, mede-se o tempo necessário para que as partículas do gás atravessem uma determinada distância. Este tempo de vôo é uma medida da vazão e, diferentemente do método calorimérico, independe das propriedades físicas do gás ou líquido que está escoando.
    Este microdispositivo deverá ser projetado com a ajuda de programa simulador ANSYS , o qual permitirá a obtenção de parâmetros de projeto como dimensões típicas e temperatura de operação. Assim poderá ser obtido o melhor desempenho do microdispositivo em projeto. Também poderá ser feita a previsão dos resultados que serão obtitos experimentalmente.
    Também será feito um estudo no sentido de projetar-se circuitos eletrônicos que possibilitem a medida da vazão empregando-se sinais pulsados ou alternados aplicados no resistor aquecedor.