Brazilian
Conferences and Brazilian Journals (1988)
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"Atividades do LSI na Área de Corrosão
por Plasma", J.A.Zuffo, A.C.Seabra, M.L.P.da Silva, W.J.Freitas, 9º
Congresso Brasileiro de Aplicações de Vácuo na Indústria
e na Ciência, Julho/1988.
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"Formação de Siliceto de Titânio
por RTP em Vácuo e Verificação da Influência
do Arsênio", R.Furlan, J.W.Swart, III Congresso da Sociedade Brasileira
de Microeletrônica, Julho/1988.
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"Verificação da Redistribuição
de Arsênio no Processo de Formação de Siliceto de Titânio
por RTP em Vácuo", R.Furlan, J.W.Swart, III Congresso da Sociedade
Brasileira de Microeletrônica, Julho/1988.
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"Caracterização Experimental
e Análise de Formação de Filmes de Siliceto de Titânio
por Técnica de Difração de Raio X", N.I.Morimoto.
J.W.Swart, H.G.Riella, III Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletrônica,
Julho/1988.
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"Removal and Patterning of Polymers in an
Afterglow Plasma System", P.Verdonck, P. DE Cleyton, G.Brasseur, F. Coopnors,
I Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletrônica, Julho/1988.
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"Aplicação de Filmes de Siliceto
de Titânio na Fabricação de Transistores nMOS", S.G.dos
Santos Filho, J.W.Swart, III Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletrônica,
Julho/1988.
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"Processos CMOS para Dimensões de Porta
de 2µm: Projeto e Resultados Experimentais", J.A.Martino, J.W.Swart,
III Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletrônica, Julho/1988.
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"Otimização da Taxa, Uniformidade
e Seletividade na Corrosão a Seco de Filmes de SiO2 em Plasma de
CF4 e CF4 + H2", A.C.Seabra, I.C.Braz, C.R.Neto, III Congresso da Sociedade
Brasileira de Microeletrônica, Julho/1988.
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"CAPMOS: Software de Simulação
e Extração de Parâmetros de Capacitores MOS", F.Stanquevisch,
R.G.Pires, J.W.Swart, III Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletrônica,
Julho/1988.
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"Estudo Preliminar da Formação
de Siliceto de Cobalto", W.J.Freitas, J.W.Swart, III Congresso da Sociedade
Brasileira de Microeletrônica, Julho/1988.
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"Medida Experimental do Atraso RC em Linhas
de Interconexão", S.G.dos Santos Filho, J.W.Swart, III Congresso
da Sociedade Brasileira de Microeletrônica, Julho/1988.
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