Brazilian
Conferences and Brazilian Journals (1991)
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"Corrosão Anisotrópica de Silício
com Plasma de CBrF3 para Obtenção de Trincheiras", R.K.Yamamoto,
H.S.Maciel, VI Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletrônica,
Julho/1991.
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"Características Elétricas de
Junções N+/P e P+/N com Barreira de Titânio", C.C.Romanelli,
J.A.Martino, R.Furlan, VI Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletrônica,
Julho/1991.
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"Projeto de Fonte e Dreno de MOSFETs de Canal
Curto", J.J.Mafra, J.A.Martino, VI Congresso da Sociedade Brasileira de
Microeletrônica, Julho/1991
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"Estudo do Crescimento Lateral do Siliceto
de Co Formado por RTP (Recozimento Térmico Rápido)", M.M.Oka
e J.W.Swart, VI Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletrônica,
Julho/1991.
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"Estudo da Influência da Potência
de RF Aplicada ao Catodo em Filmes Finos de Titânio e Cobalto Depositados
por Sputtering", A.L.P.Rotondaro, H.S.Maciel, VI Congresso da Sociedade
Brasileira de Microeletrônica, Julho/1991.
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"Estudo da Taxa de Corrosão do Nitreto
de Silício PECVD em Plasma de SF6", F.R.de Almeida, R.K. Yamamoto
e H.S. Maciel, VI Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletrônica,
Julho/1991.
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"Estudo da Taxa de Corrosão do Nitreto
de Silício PECVD - Comparação entre Catodo de Silício
e Alumínio e Estudo da Seletividade Nitreto/Fotorresiste", F.R.de
Almeida, R.K. Yamamoto, H.S. Maciel, XII Congresso Brasileiro de Aplicações
de Vácuo na Indústria e na Ciência; Florianópolis-Sc;
Julho/1991.
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"Aplicação da Sonda de Langmuir
no Estudo da Corrosão por Plasma", R.K.Yamamoto e H.S. Maciel, XII
Congresso Brasileiro de Aplicações de Vácuo na Indústria
e na Ciência; Florianópolis-SC; Julho/1991.
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"Estudo por Microscopia Eletrônica de
Varredura do Perfil de Corrosão de Silício Obtido do Plasma
de CBrF3", R.K. Yamamoto e H.S. Maciel, XIII Colóquio da Sociedade
Brasileira de Microscopia Eletrônica; Caxambu-MG; Vol. 3; Setembro/1991.
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"Análise da Eficiência de Compensação
da Sonda de Langmuir Utilizada em Diagnóstico de Descargas RF",
R.K. Yamamoto e H.S. Maciel, I Congresso Brasileiro de Física dos
Plasmas; Santos-SP, Dezembro/1991.
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"Estudo por Microscopia Eletrônica de
Transmissão (MET) do Recozimento de Defeitos Residuais em
Camadas de Silício Recristalizadas", J.T.dos Santos e C.M. Hasenack,
XIII Colóquio da Sociedade Brasileira de Microscopia Eletrônica,
Vol.3, Setembro/1991.
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"Tungsten Etching With Audio Frequency Plasmas",
P.Verdonck, J.Vandersmissen, G. Brasseur, VI Congresso da Sociedade Brasileira
de Microeletrônica, Julho/1991
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