Brazilian
Conferences and Brazilian Journals (1992)
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"Obtenção de Camadas Ultra-Finas
de Óxido de Silício por Oxidação Térmica
Rápida", S.G. dos Santos Filho e C.M. Hasenack, VII Congresso da
Sociedade Brasileira de Microeletrônica, Julho/1992.
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"Si/Si02 Interface Asperities: Theirs Effect
on Breakdown Characteristics and on Electric Field Distribution Within
Thin Gate Oxides", M.C. Lopes e C.M. Hasenack, VII Congresso da Sociedade
Brasileira de Microeletrônica, Julho/1992.
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"Formação de Siliceto de Titânio
sobre Dióxido de Silício por Co-Deposição",
M.B.A. Fontes, J.C.A. Quacchia e R. Furlan, VII Congresso da Sociedade
Brasileira de Microeletrônica, Julho/1992.
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"Estudo da Influência do Ambiente no
Processo de Silicetação do Titânio Realizado em Fornos
de RTP", Y.P.V. Costa e C.M. Hasenack, VII Congresso da Sociedade Brasileira
de Microeletrônica, Julho/1992.
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"Actinometry and Its Application on Polysilicon
Etching in a Magneticall Confined Reactor", P.B. Verdonck, P. De Geyter
e J.W. Swart, VII Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletrônica,
Julho/1992.
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"Corrosão de Trincheiras em Silício
com Plasma de CBrF3", R. Yamamoto e H.S. Maciel, VII Congresso da Sociedade
Brasileira de Microeletrônica, Julho/1992.
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"Estudo Comparativo de Estruturas de Fonte
e Dreno de Transistores MOS Submicrométricos", J.J. Mafra Jr. e
J.A. Martino, VII Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletrônica,
Julho/1992.
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"Construção e Desenvolvimento
de Um Equipamento Integrado para a Deposição de Óxidos
de Silício", N.I. Morimoto, A.R. Cardoso, M.L.P. Silva, N.Y. Shibata,
A.F. Escote, W.T. MatsUmurae J.W. Swart, VII Congresso da Sociedade Brasileira
de Microeletrônica, Julho/1992.
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"Construção de Um Gerador de
Microondas para Aplicações em Microeletrônica", A.R.
Cardoso e J.T. Senise, VII Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletrônica,
Julho/1992.
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"Construção e Caracterização
Inicial de Um Medidor de Rugosidade Química de Superfícies
de Silício Empregando Espalhamento de Luz", S.G. dos Santos e C.M.
Hasenack, VII Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletrônica,
Julho/1992.
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"Difusão de Ar a Partir do TiSi2 com
Estruturas C49 e C54", M.M. Oka e R. Furlan, VII Congresso da Sociedade
Brasileira de Microeletrônica, Julho/1992.
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"Estudo da Influência da Adição
de SF6 ao Plasma de CBrF3 na Corrosão de Silício", R.K. Yamamoto
e H.S. Maciel, VII Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletrônica,
Julho/1992.
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"Estruturas de Porta de Transistores MOS",
C. Pellegini Jr. e J.A. Martino, VII Congresso da Sociedade Brasileira
de Microeletrônica, Julho/1992.
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“Obtenção de um processo de
litografia de multicamadas”, R. D. Mansano, P. B. Verdonck e Homero S.
Maciel, Revista bras. de Aplicação de Vácuo, vol.
11, n? 2, 1992
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"Desenvolvimento de Um Sistema Integrado Multicâmara
para a Deposição de SiO2 Dopado ou não com Boro e/ou
Fósforo por R/PRCVD", N.I.Morimoto, A.R. Cardoso, M.L.P. Silva,
N.Y. Shibata, A.T. Escote, W.T. Matsumura, E. Oliveira e J.W. Swart, XIII
CBRAVIC 1992.
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"Algumas Aplicações da Espectroscopia
de Massa por Transformada de Fourier", P.C.Isolani, M.C. Kida-Tinine, H.V.
Linnert, J.J. Menegon, J.M. Riveros, P. Tiedmann e R.M. Franzin, XIII CBRAVIC
1992.
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"Projeto e Construção de Um
Equipamento para Corrosão de Alumínio por Plasma", R.M. Franzin,
P. Verdonck, R. Mansano, N. Ordenez·e M.B. Pisani., XIII CBRAVIC
1992.
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"Determinação de Flúor
Atômico em Plasmas de SF6 + O2 por Actinometria", E.R. de Oliveira,
XIII CBRAVIC 1992.
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"Caracterização do Processo
de Corrosão por Plasma de Dióxido de Silício Utilizando
Experimentos Fatoriais", C.T. Akamine e H.S. Maciel, XIII CBRAVIC 1992.
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"Estudo do Comparativo da Corrosão
de Silício com Adição de SF6 e O2 ao Plasma de CBrF3",
R.K. Yamamoto e H.S. Maciel, XIII CBRAVIC 1992.
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"Chemical Etching of Tungsten with NF3 - O2
Plasmas", P. Verdonck, G. Brausseur e J. Swart, XIII CBRAVIC 1992.
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"Silicon Surface Roughening Induced by CBrF3
During the Reactive Ion Etching", R.K. Yamamoto, M.C.V. Lopes, C.T. Akamine,
S.G. Santos Fº, C.M. Hasenack, X CBECIMAT, Dezembro/1992
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"Estudos de Filmes Finos de Óxido de
Silicio Depositados", M.L.P. Silva, A.R. Cardoso, N.I. Morimoto, A.T.Escote,
N.Y. Shibata, W.T. Matsumara, X CBECIMAT, Dezembro/1992.