Sebastiao Gomes dos Santos Filho
Endereço
profissional: Universidade de São
Paulo, Escola Politécnica, Departamento de Engenharia de
Sistemas
Eletrônicos.
E-mail:
sgsantos@lsi.usp.br
2 FORMAÇÃO ACADÊMICA/TITULAÇÃO
1999 Livre-docência.
Universidade
de São Paulo, USP, São Paulo, Brasil.
Título:
Engenharia de Superfícies e de Interfaces Aplicada na Fabricação de Circuitos
Integrados:
Cinética da Oxidação Térmica Rápida do Silício e Deposição Eletroquímica de
Metais..
Ano de obtenção: 1999.
1996 - 1999 Pós-doutorado.
Universidade
de São Paulo, USP, São Paulo, Brasil.
1989 - 1996 Doutorado em Engenharia Elétrica
[Sp-Capital].
Universidade
de São Paulo, USP, São Paulo, Brasil.
Título:
Oxidação Térmica Rápida do Silicio: Influência dos Procedimentos de Limpeza e
dos
Perfis
Temporais de Temperatura na Qualidade dos Óxidos de Porta MOS. Ano de obtenção:
1996.
Orientador:
Claus M Hasenack.
1985 - 1988 Mestrado em Engenharia Elétrica
[Sp-Capital].
Universidade
de São Paulo, USP, São Paulo, Brasil.
Título:
APLICACAO DE FILMES DE SILICETO DE TITANIO E DO ESCOAMENTO TERMICO
RAPIDO
DE CAMADAS DE PSG NA FABRICACAO DE CIRCUITOS INTEGRADOS NMOS.
Ano
de obtenção: 1988.
Orientador:
JACOBUS WILLIBRORDUS SWART.
1983 - 1984 Especialização em Microeletrônica.
Universidade
de São Paulo, USP, São Paulo, Brasil.
Título:
Acompanhamento a fabricação de dispositivos nMOS com carga em depleção.. Ano de
obtenção:
1984.
Orientador:
João Antonio Martino.
1980 - 1984 Graduação em Engenharia Elétrica Sp
Capital.
Universidade
de São Paulo, USP, São Paulo, Brasil.
1977 - 1979 Ensino Profissional de nível técnico.
Colégio
Liceu Coração de Jesus, LCJ, São Paulo, Brasil.
3 ATUAÇÃO PROFISSIONAL
Universidade
de São Paulo - USP
4 LINHAS DE PESQUISA
1 Materiais, Processos e
Dispositivos.
5 ÁREAS DE ATUAÇÃO
1 Engenharia Elétrica,
Materiais Elétricos.
2 Materiais Elétricos,
Materiais e Componentes Semicondutores.
3 Materiais Elétricos,
Materiais Condutores.
6 IDIOMAS
Fala: Espanhol (Razoavelmente),
Francês (Razoavelmente), Inglês (Bem).
Lê: Espanhol (Pouco), Francês
(Pouco), Inglês (Bem).
Escreve: Espanhol (Pouco), Francês
(Razoavelmente), Inglês (Bem).
7 PRÊMIOS E TÍTULOS
2003 Bolsa
de Produtividade e m Pesquisa nível 1D, CNPq.
2001 Bolsa de Produtividade em
Pequisa nível 2A, CNPq.
1999 Bolsa de Produtividade em
Pesquisa nível 2B, CNPq.
1993 Medalha Comemorativa do
Centenário de Criação da Escola Politécnicada USP, EPUSP.
8 PRODUÇÃO CIENTÍFICA, TECNOLÓGICA E
ARTÍSTICA/CULTURAL
8.1
PRODUÇÃO BIBLIOGRÁFICA
8.1.1
Trabalhos completos em eventos
1 ARAÚJO, Hugo Puertas de; SANTOS FILHO,
Sebastiao Gomes dos; VALLE, Márcio de Almeida.
Birefringence
Characterization of TiO2 Thin Films Deposited by DC Sputtering over Tilted
Substrates. In:
19TH
INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON MICROELECTRONICS TECHNOLOGY AND DEVICES -
SBMICRO
2004, 2004, Porto de Galinhas. Proceedings of the 19th International Symposium
on
Microelectronics
Technology and Devices - SBMicro 2004. Pennington, New Jersey, USA: The
Electrochemical
Society, Inc., 2004. v. PV04, p. 207-212.
2 TEXEIRA, Ricardo C; DOI, Ioshiaki; DINIZ,
José Alexandre; SWART, Jacobus W; ZAKIA, M B P; SANTO
FILHO,
Sebastiao Gomes dos. Characteristics of Polycrystalline Si(1-x)Gex Alloy
Deposited in a Vertical
LPCVD
System. In: 19TH INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON MICROELECTRONICS TECHNOLOGY
AND
DEVICES - SBMICRO 2004, 2004, Porto de Galinhas. Proceedings of the 19th
International
Symposium
on Microelectronics Technology and Devices - SBMicro 2004. Pennington, New
Jersey, USA:
The
Electrochemical Society, Inc., 2004. v. PV04, p. 307-311.
3 NOGUEIRA, Willian Aurélio; SANTOS FILHO,
Sebastiao Gomes dos. Characterization of Thin MOS Gate
Oxides
Grown in Pyrogenic Environment. In: 19TH INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON
MICROELECTRONICS
TECHNOLOGY AND DEVICES - SBMICRO 2004, 2004, Porto de Galinhas.
Proceedings
of the 19th International Symposium on Microelectronics Technology and Devices
- SBMicro
2004.
Pennington, New Jersey, USA: The Electrochemical Society, Inc., 2004. v. PV04,
p. 271-276.
4 TOQUETTI, Leandro Zeidan; SANTOS FILHO,
Sebastiao Gomes dos; DINIZ, José Alexandre; SWART,
Jacobus
W. Electrical Characterization of Thin Gate Oxynitride Obtained by N+
Implantation Into
Polysilicon/Thermal
Oxide/Silicon Structure. In: 19TH INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON
MICROELECTRONICS
TECHNOLOGY AND DEVICES - SBMICRO 2004, 2004, Porto de Galinhas.
Proceedings
of the 19th International Symposium on Microelectronics Technology and Devices
- SBMicro
2004.
Pennington, New Jersey, USA: The Electrochemical Society, Inc., 2004. v. PV04,
p. 331-336.
5 SANTOS, Regis E; DOI, Ioshiaki; TEIXEIRA,
Ricardo C; DINIZ, José Alexandre; SWART, Jacobus W;
SANTOS
FILHO, Sebastiao Gomes dos. Formation and Stability of Ni(Pt)Si/Poly-Si Layered
Structure. In:
19TH
INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON MICROELECTRONICS TECHNOLOGY AND DEVICES -
SBMICRO
2004, 2004, Porto de Galinhas. Proceedings of the 19th International Symposium
on
Microelectronics
Technology and Devices - SBMicro 2004. Pennington, New Jersey, USA: The
Electrochemical
Society, Inc., 2004. v. PV04, p. 259-264.
6 REIS, Ronaldo Willian; SANTOS FILHO,
Sebastiao Gomes dos; DOI, Ioshiaki; SWART, Jacobus W.
Formation
of Nickel Silicides onto As-doped Silicon Using a Thin Pt/Pd Interlayer. In:
19TH
INTERNATIONAL
SYMPOSIUM ON MICROELECTRONICS TECHNOLOGY AND DEVICES - SBMICRO
2004,
Proceedings of the 19th International Symposium on Microelectronics Technology
and Devices -
SBMicro
2004. Pennington, New Jersey, USA: The Electrochemical Society, Inc., 2004. v.
PV04, p.
357-362.
7 HASHIMOTO, Alexandre Ichiro; GOZZI,
Giuliano; SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos. Growth and
Morphology
of Electroless Cobalt Thin Films Deposited onto Palladium Pre-activated Silicon
Surfaces. In:
19TH
INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON MICROELECTRONICS TECHNOLOGY AND DEVICES -
SBMICRO
2004, 2004, Porto de Galinhas. Proceedings of the 19th International Symposium
on
Microelectronics
Technology and Devices - SBMicro 2004. Pennington, New Jersey, USA: the
Electrochemical
Society, Inc., 2004. v. PV04, p. 265-270.
8 REIS, Ronaldo Willian; SANTOS FILHO,
Sebastiao Gomes dos; DOI, Ioshiaki; SWART, Jacobus W.
Formation
of nickel silicides onto (100) silicon wafer surfaces using a thin platinum
interlayer. In: 18TH
INTERNATIONAL
SYMPOSIUM ON MICROELECTRONICS TECHNOLOGY AND DEVICES, 2003, São
Paulo.
Proceedings of the 18th International Symposium on Microelectronics Technology
and Devices.
Pennington,
New Jersey, USA: Electrochemical Soc. Inc., 2003. v. 09, p. 125-131.
9 ALBUQUERQUE, Rômulo O; SEABRA, Antonio
Carlos; SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos; SWART,
Jacobus
W. An Integrated Environment for Design and Fabrication of Analog CMOS
Undergraduate
Microeletronic
Projects. In: 4TH EUROPEAN WORKSHOP ON MICROELECTRONICS EDUCATION
EWME
2002, 2002, Vigo. Proceedings of the 4th European Workshop on Microelectronics
Education.
marcombo
Boixareu Editores/ Universidad de Vigo, 2002. v. 1, p. 217-220.
10 NOGUEIRA, Willian Aurélio; TOQUETTI,
Leandro Zeidan; SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos.
Diluted
HNO3/HF as a final pre-oxidation cleaning step for MOS devices. In: 17TH
SYMPOSIUM ON
MICROELECTRONICS
TECHNOLOGY AND DEVICES, 2002, Porto Alegre. Microelectronics Technology
and
Devices. Pennington, New Jersey, USA: The Electrochemical Society, Inc., 2002.
v. PV-08, p.
334-341.
11 NAVIA, Alan Rodrigo; SANTOS FILHO,
Sebastiao Gomes dos. Electrical and Physical Characterization of
Electroless
Nickel Films on Polysilicon Gate Electrodes. In: 17TH SYMPOSIUM ON
MICROELECTRONICS
TECHNOLOGY AND DEVICES, 2002, Porto Alegre. Microelectronics Technology
and
Devices. Pennington, New Jersey, USA: The Electrochemical Society, Inc., 2002.
v. PV-08, p.
318-327.
12 SANTOS, Regis E; DOI, Ioshiaki; DINIZ, José
Alexandre; SWART, Jacobus W; SANTOS FILHO,
Sebastiao
Gomes dos. Formation and Characterization of the Ni(Pt)Si and NiSi for MOS
Devices
Applications.
In: 17TH SYMPOSIUM ON MICROELECTRONICS TECHNOLOGY AND DEVICES, 2002,
Porto
Alegre. Microelectronics Technology and Devices. Pennington, New Jersey, USA:
The
Electrochemical
Society, Inc., 2002. v. PV-08, p. 109-116.
13 REIS, Ronaldo Willian; SANTOS FILHO,
Sebastiao Gomes dos; LAGANÁ, Armando Antonio Maria; DOI,
Ioshiaki;
SWART, Jacobus W. Formation of Nickel Monosilicide onto (100) Silicon Wafer
Surfaces. In:
17TH
SYMPOSIUM ON MICROELECTRONICS TECHNOLOGY AND DEVICES, 2002, Porto Alegre.
Microelectronics
Technology and Devices. Pennington, New Jersey, USA: The Electrochemical
Society,
Inc.,
2002. v. PV-08, p. 101-108.
14 ARAÚJO, Hugo Puertas de; SANTOS FILHO,
Sebastiao Gomes dos. Polarization-Difference Imaging
Technique
for Material Characterization:Algorithm and some applications. In: 17TH
SYMPOSIUM ON
MICROELECTRONICS
TECHNOLOGY AND DEVICES, 2002, Porto Alegre. Microelectronics Technology
and
Devices. Pennington, New Jersey, USA: The Electrochemical Society, Inc., 2002.
v. PV-08, p.
285-292.
15 TOQUETTI, Leandro Zeidan; NOGUEIRA, Willian
Aurélio; SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos. A
practical
procedureto match the measured capacitance of low and high frequency in order
to obtain the
energy
distribution of the interface states density. In: XVI INTERNATIONAL CONFERENCE
ON
MICROELECTRONICS
AND PACKAGING, 2001, Brasília. Proceedings of the XVI International
Conference
on Microelectronics and Packaging. São Paulo: Sociedade Brasileira de
Microeletrônica, 2001.
v. 1,
p. 219-221.
16 REIS, Ronaldo Willian; SANTOS FILHO,
Sebastiao Gomes dos. Characterization of Ni/TiSi2 contacts
fabricated
onto N+P junctions. In: XVI INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICROELECTRONICS AND
PACKAGING,
2001, Brasília. Proceedings of the XVI International Conference on
Microelectronics and
Packaging.
São Paulo: Sociedade Brasileira de Microeletrônica, 2001. v. 1, p. 112-117.
17 HASAN, Nasser M; SANTOS FILHO, Sebastiao
Gomes dos; SCHWARZACHER, Walther. Evolution of
Roughness
in Electroless Copper Films. In: XVI INTERNATIONAL CONFERENCE ON
MICROELECTRONICS
AND PACKAGING, 2001, Brasília. Proceedings of the XVI International
Conference
on Microelectronics and Packaging. São Paulo: Sociedade Brasileira de
Microeletrônica, 2001.
v. 1,
p. 204-207.
18 TOQUETTI, Leandro Zeidan; SANTOS FILHO,
Sebastiao Gomes dos. Influence of the oxynitridation
parameters
on the refractive index and on the thickness uniformity of MOS gate Dielectrics
grown by RTN.
In:
ALTERNATIVES TO SIO2 AS GATE DIELECTRICS FOR FUTURE SI-BASED MICROELECTRONICS,
2001,
Porto Alegre. 2001 MRS workshop Series - Alternatives to SiO2 as Gate
Dielectrics for Future
Si-Based
Microelectronics. USA: Materials Research Society, 2001. v. 1, p. 25-29.
19 ARAÚJO, Hugo Puertas de; SANTOS FILHO,
Sebastiao Gomes dos. Simulations of an interference
birefringent
thin-film filter used as narrow-band polarizer. In: XVI INTERNATIONAL
CONFERENCE ON
MICROELECTRONICS
AND PACKAGING, 2001, Brasília. Proceedings of the XVI International
Conference
on Microelectronics and Packaging. São Paulo: Sociedade Brasileira de
Microeletrônica, 2001.
v. 1,
p. 146-150.
20 TOQUETTI, Leandro Zeidan; SANTOS FILHO,
Sebastiao Gomes dos. A New Experimental Procedure to
Obtain
the Refractive Index of MOS Gate Oxynitrides Grown by RTP in N2O Atmosphere.
In: XV
INTERNATIONAL
CONFERENCE ON MICROELECTRONICS AND PACKAGING, 2000, Manaus.
Proceedings
of the XV International Conference on Microelectronics and Packaging. Manaus:
Universidade
da Amazônia - Imprensa Universitária, 2000. v. 1, p. 292-297.
21 SOUZA FILHO, José Cândido de; SANTOS FILHO,
Sebastiao Gomes dos. Analysis of the Surface
Roughness
and Surface Particle Concentration Using a New Technique: Integrated Angle Resolved
LASER
Scattering (IARLS). In: XV INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICROELECTRONICS AND
PACKAGING,
2000, Manaus. Proceedings of the XV International Conference on
Microelectronics and
Packaging.
Manaus: Universidade do Amazonas - Imprensa Universitária, 2000. v. 1, p.
256-261.
22 NAVIA, Alan Rodrigo; SONNENBERG, Victor;
MARQUES, Angelo Eduardo Battistini; SANTOS FILHO,
Sebastiao
Gomes dos; MARTINIO, João Antonio. Electrical Characterization of Thin Nickel
Films Obtained
from
Electroless Plating onto Aluminum Gate of MOS Capacitores. In: XV INTERNATIONAL
CONFERENCE
ON MICROELECTRONICS AND PACKAGING, 2000, Manaus. Proceedings of the XV
International
Conference on Microelectronics and Packaging. Manaus: Universidade da Amazônia
-
Imprensa
Universitária, 2000. v. 1, p. 286-291.
23 ARAÚJO, Hugo Puertas de; SANTOS FILHO,
Sebastiao Gomes dos. Electrical Simulations of
Gate-Controlled
Diodes in Order to Show their Feasibility as Luminous Radiation Sensors. In: XV
INTERNATIONAL
CONFERENCE ON MICROELECTRONICS AND PACKAGING, 2000, Manaus.
Proceedings
of the XV International Conference on Microelectronics and Packaging. Manaus:
Universidade
do Amazonas - Imprensa Universitária, 2000. v. 1, p. 147-152.
24 MARQUES, Angelo Eduardo Battistini; SANTOS
FILHO, Sebastiao Gomes dos. Morphological
Characterization
of Electroless Nickel Films onto Aluminum Surfaces. In: XV INTERNATIONAL
CONFERENCE
ON MICROELECTRONICS AND PACKAGING, 2000, Manaus. Proceedings of the XV
International
Conference on Microelectronics and Packaging. Manaus: Universidade da Amazônia
-
Imprensa
Universiária, 2000. v. 1, p. 245-249.
25 NOGUEIRA, Willian Aurélio; SANTOS FILHO,
Sebastiao Gomes dos. Partial Dielectric Breakdown in MOS
Gate
Oxide Grown by RTO. In: XV INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICROELECTRONICS AND
PACKAGING,
2000, Manaus. Proceedings of the XV International Conference on
Microelectronics and
Packaging.
Manaus: Universidade do Amazonas - Imprensa Universitária, 2000. v. 1, p.
298-302.
26 HASAN, Nasser M; MARQUES, Angelo E B;
SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos. Copper Electroless
Plating
onto Palladium-Activated Silicon Surfaces. In: XIV INTERNATIONAL CONFERENCE ON
MICROELECTRONICS
AND PACKAGING, 1999, Campinas. Proceedings of the XIV International
Conference
on Microelectronics and Packaging. São Paulo: Sociedade Brasileira de
Microeletrônica, 1999.
v. 1,
p. 280-282.
27 HASAN, N.m.; MARQUES, A.e.b.; SANTOS FILHO,
Sebastiao Gomes dos. Electroless Plating Of
Palladium
Onto Silicon Wafer Surfaces. In: INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICROELECTRONICS
AND
PACKAGING - ICMP99, 1999, Campinas. Proceedings of the International Conference
on
Microelectronics
and Packaging - ICMP99. Campinas, SP: 1999. p. 121-127.
28 MARQUES, Angelo E B; SANTOS FILHO,
Sebastiao Gomes dos; HASAN, Nasser M. Ni Electroless
Plating
onto Pd-activated Si Surfaces. In: XIV INTERNATIONAL CONFERENCE ON
MICROELECTRONICS
AND PACKAGING, 1999, Campinas. Proceedings of the XIV International
Conference
on Microelectronics and Packaging. São Paulo: Sociedade Brasileira de
Microeletrônica, 1999.
v. 1,
p. 277-279.
29 NOGUEIRA, Willian Aurélio; SANTOS FILHO,
Sebastiao Gomes dos. A new technique to obtain the MOS
gate
oxide thickness and electric breakdown field distributions from
Follower-Nordheim tunneling current.
In:
XIII INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICROELECTRONICS AND PACKAGING, 1998,
Curitiba.
Proceedings
of the XIII International Conference on Microelectronics and Packaging. São
Paulo, SP:
Sociedade
Brasileira de Microeletrônica - SBMicro, 1998. v. 1, p. 475-477.
30 SOUZA, Silvana G de; HASAN, N.m.; LAGANÁ,
A.a. M.; SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos. Effect
Of
The Rapid Thermal Annealing Parameters On The Mechanical Stress And On The
Morphology Of
Titanium
Silicide Films Formed Onto Silicon Wafer Surfaces. In: INTERNATIONAL CONFERENCE
ON
MICROELECTRONICS
AND PACKAGING - ICMP98, 1998, Curitiba. Proceedings of the International
Conference
on Microelectronics and Packaging - ICMP98. Curitiba, Paraná: 1998. v. 1, p.
202-210.
31 MUNFORD, M.l.; D'AJELLO, P.c.t.; PASA,
A.a.; SCHWAZACHER, W.; SANTOS FILHO, Sebastiao
Gomes
dos. Electrodeposition Of Cobalt Thin Films On Silicon. In: 13O. CONGRESSO DE
ENGENHARIA
E
CIÊNCIA DOS MATERIAIS, 1998, Paraná. Anais
do 13o. Congresso de Engenharia e Ciência dos
Materiais.
Curitiba, Paraná: 1998. v. 1, p. 1801-1809.
32 HASAN, N.m.; LAGANÁ, A.a. M.; SANTOS FILHO,
Sebastiao Gomes dos. Influence Of The Titanium
Deposition
Procedures (Evaporation Or Sputtering) On The Morphology Of Titanium Silicides
Films
Formed
Onto Si(1000. In: INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICROELECTRONICS AND
PACKAGING
- ICMP98, 1998, Curitiba. Proceedings os the International Conference on
Microelectronics
and
Packaging - ICMP98. Curitiba, Paraná: 1998. v. 1, p. 495-499.
33 HASHIMOTO, Alexandre Ichiro; SANTOS FILHO,
Sebastiao Gomes dos. Mechanical stress and
morphology
of copper thin films deposited by electroless plating onto Si (100). In: XIII
INTERNATIONAL
CONFERENCE
ON MICROELECTRONICS AND PACKAGING, 1998, Curitiba. Proceedings of the XIII
International
Conference on Microelectronics and Packaging. São Paulo: Sociedade Brasileira
de
Microeletrônica,
1998. v. 1, p. 478-480.
34 LOPES, M.c.v.; GEJUIBA, N.; SANTOS FILHO,
Sebastiao Gomes dos; HASENACK, C.m. Estudo da
Quantificação
da Rugosidade da Interface Si-Sio2. In: XII CONFERENCE OF THE BRAZILIAN
MICROELECTRONICS
SOCIETY, 1997, Caxambu. ESTUDO DA QUANFIFICAÇÃO DA RUGOSIDADE
DA
INTERFACE SI-SIO2. CAXAMBU, MG - BRASIL: 1997. v. CDROM.
35 HASHIMOTO, A.i.; SANTOS FILHO, Sebastiao
Gomes dos. Estudo Experimental da Tensão Mecânica
Em
Filmes Finos de Cobre Obtidos Por Evaporação Ou Deposição Eletroquímica
Espontânea. In: XII
CONFERENCE
OF THE BRAZILIAN MICROELECTRONICS SOCIETY, 1997, Caxambu. Anais do XII
CONFERENCE
OF THE BRAZILIAN MICROELECTRONICS SOCIETY. Caxambu, BRAZIL: 1997. v.
CDROM,
p. A37.
36 SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos;
HASENACK, C.m. Metal And Sulfate Contamination Mechanisms
On
Silicon Wafer Surfaces During Hf-Last Cleanings. In: XII CONFERENCE OF THE
BRAZILIAN
MICROELECTRONICS
SOCIETY, 1997, Caxambu. Anais do XII CONFERENCE OF THE BRAZILIAN
MICROELECTRONICS
SOCIETY. CAXAMBU, MG - BRASIL: 1997. v. CDROM.
37 SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos;
HASENACK, C.m. A Electroless Mechanism Of Cu Plating Onto
Si
During Hf-Last Cleanings. In: XI CONFERENCE OF THE BRAZILIAN MICROELECTRONICS
SOCIETY,
Proceedings of the XI CONFERENCE OF THE BRAZILIAN MICROELECTRONICS SOCIETY.
ÁGUAS
DE LINDÓIA, SP - BRASIL: 1996. v. 1, p. 320-330.
38 SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos;
HASENACK, Claus M. The Electroless-plating mechanism of
copper
onto silicon surfaces in diluted hydrofluoric solutions. In: INTERNATIONAL
SYMPOSIUM ON NEW
DIRECTIONS
IN ELECTROANALYTICAL CHEMISTRY, 1996, Los Angeles. Proceedings of the
International
Symposium on New Directions in Electroanalytical Chemistry. Los Angeles:
Electrochemical
Society,
1996. v. 1, p. 234-247.
39 LOPES, M.c.v.; SANTOS FILHO, Sebastiao
Gomes dos; HASENACK, C.m. The Influence Of Si/Sio2
Interface
Roughness On Electronic Roughness. In: X CONGRESSO DA SOCIEDADE BRASILEIRA DE
MICROELETRÔNCA,
1995, Canela. Anais do X CONGRESSO DA SOCIEDADE BRASILEIRA DE
MICROELETRÔNCA.
CANELA, RS - BRASIL: 1995. v. 1, p. 349-360.
40 SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos;
HASENACK, C.m. The Plating Mechanisms Of Copper Onto
Silicon
Surfaces In Diluted Hydrofluoric Solutions. In: X CONGRESSO DA SOCIEDADE
BRASILEIRA DE
MICROELETRÔNICA,
Anais do X CONGRESSO DA SOCIEDADE BRASILEIRA DE
MICROELETRÔNICA.
CANELA, RS - BRASIL: 1995. v. 1, p. 587-596.
41 SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos;
HASENACK, C.m. The Deposition And Removal Of Surface
Contaminants
From Silicon Wafers By Means Of A Diluted Hf Dip Followed Or Not By An
Isopropyl
Alcohol
Boil. In: IX CONGRESSO DA SOCIEDADE BRASILEIRA DE MICROELETRÔNICA, 1994, Rio de
Janeiro.
Anais do IX Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletrônica. Rio de
Janeiro, Brasil: 1994.
v. 1,
p. 137-147.
42 SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos;
HASENACK, C.m.; LOPES, M.v.c.; BARANAUSKAS, V. The
Effect
Of The Temperature Cooling Rate On The Si/Sio2 Interface Roughness After Rapid
Thermal
Oxidation.
In: IX CONGRESSO DA SOCIEDADE BRASILEIRA DE MICROELETRÔNICA, 1994, Rio de
Janeiro.
Anais do IX Congresso da Sociedade
Brasileira de Microeletrônica. Rio de Janeiro, Brasil: 1994.
v. 1,
p. 428-436.
43 LEITE, N.g.; SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes
dos; HASENACK, C.m. Um Processo de Limpeza Para
Lâminas
de Silício. In: XI CONGRESSO BRASILEIRO DE ENGENHARIA E CIÊNCIA DOS MATERIAIS,
1994,
Águas de São Pedro. Anais do XI Congresso Brasileiro de Engenharia e Ciência
dos Materiais.
Águas
de São Pedro, São Paulo: 1994. v. 1, p. 125-129.
44 RAMOS, A C S; SWART, Jacobus W; TATSCH,
Peter J; SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos;
RIBEIRO,
E; PRINCE, F C. Design and Characterization of an RIE equipment and its
application in
tungsten
etching. In: VIII CONGRESSO DA SOCIEDADE BRASILEIRA DE MICROELETRÔNICA, 1993,
Campinas.
Anais do VIII Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletrônica. Campinas,
SP: 1993. v. 1,
p.
19.13-19.19.
45 SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos; SOUZA
FILHO, Nosé Cândido de; HASENACK, Claus M.
Measurement
of silicon surface asperities using elastic HeNe lightscattering technique. In:
VIII
CONGRESSO
DA SOCIEDADE BRASILEIRA DE MICROELETRÔNICA, 1993, Campinas. Anais do VIII
Congresso
da Sociedade Brasileira de Microeletrônica. Campinas: Cartgraf Editora Ltda,
1993. v. 1, p.
20.19-20.24.
46 SOUZA FILHO, José Cândido de; SANTOS FILHO,
Sebastiao Gomes dos. Measurement of silicon
surface
asperities using the elastic HeNe lightscattering technique. In: VIII CONGRESSO
DA SOCIEDADE
BRASILEIRA
DE MICROELETRÔNICA, 1993, Campinas. Anais do VIII Congresso da Sociedade
Brasileira
de Microeletrônica. Campinas, SP: 1993. v. 1, p. 20.19-20.24.
47 YAMAMOTO, R K; LOPES, Manoel C V; AKAMINE,
Carlos T; SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos;
HASENACK,
Claus M. Silicon Surface Roughening induced by CBrF3 plasma during the reactive
ion
etching.
In: X CONGRESSO BRASILEIRO DE ENGENHARIA E CIÊNCIA DOS MATERIAIS, 1993, Águas
de
Lindóia. Anais do X Congresso Brasileiro de Engenharia e Ciência dos Materiais.
1993. v. 1, p.
125-131.
48 SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos;
HASENACK, Claus M; MERTENS, Paul W. The cleaning of
silicon
wafers with hot isopropyl alcohol and distilled water as final steps. In: VIII
CONGRESSO DA
SOCIEDADE
BRASILEIRA DE MICROELETRÔNICA, 1993, Campinas. Anais do VIII Congresso da
Sociedade
Brasileira de Microeletrônica. São Bernardo do Campo - SP: Gráfica e Editora
FCA, 1993. v. 1,
p.
20.7-20.12.
49 SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos;
HASENACK, Claus M. Construção e caracterização inicial de um
medidor
de rugosidade química de superfícies de silício empregando espalhamento de luz.
In: VII
CONGRESSO
DA SOCIEDADE BRASILEIRA DE MICROELETRÔNICA, 1992, São Paulo. Anais do VII
Congresso
da Sociedade Brasileira de Microeletrônica. São Bernado do Campo, SP: Gráfica e
Editora
FCA,
1992. v. 1, p. 583-593.
50 SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos;
HASENACK, Claus M. Obtenção de camadas ultra-finas de
óxido
de silício por oxidação térmica rápida. In: VII CONGRESSO DA SOCIEDADE
BRASILEIRA DE
MICROELETRÔNICA,
1992, São Paulo. anais do VII Congresso da Sociedade Brasileira de
Microeletrônica.
São Bernardo do Campo: Gráfica e Editora FCA, 1992. v. 1, p. 195-204.
51 RIBEIRO, Fernando S; GRIMONI, José Aquiles
B; SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos. A disciplina
Materiais
Elétricos e Processos na Formação do Engenheiro de Eletricidade na Escola
Politécnica da
Universidade
de São Paulo. In: SEMINÁRIO DE ENSINO DE METALURGIA E MATERIAIS, 1991, São
Paulo.
Anais do Seminário de Ensino de Metalurgia e Materiais. São Paulo: ABM -
Associação Brasileira
de
Metalurgia, 1991. v. 1, p. 25-31.
52 SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos; SWART,
Jacobus W. Modeling of interconnection lines for
simulation
of VLSI circuits. In: IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON COMPUTER DESIGN, 1991,
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Proceedings of the IEEE International Conference on Computer Design.
Massachusetts:
IEEE,
1991. v. 1, p. 92-102.
53 SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos; SWART,
Jacobus W. Use of the charge pumping technique for
the
evaluation of MOSFET degradation due to stress in silicide/polysilicon double
layer. In: FIFTH
CONGRESS
OF MICROELETRONIC BRAZILIAN SOCIETY, 1990, Campinas. Proceedings of the Fifth
Congress
of Microelectronic Brazilian Society. São Paulo, SP: Sociedade Brasileira de
Microeletrôncia,
1990.
v. 1, p. 368-374.
54 SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos; SWART,
Jacobus W. An Experimental Measurement Technique
of
Interconnection RC Delay for Integrated Circuits. In: IEEE INTERNATIONAL
CONFERENCE OF
MICROELECTRONIC
TEST STRUCTURES, 1989, Edinburgh. Proceedings of the IEEE International
Conference
of Microelectronic Test Structures. Edinburgh, Scotland: IEEE, 1989. v. 1, p.
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55 SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos; SWART,
Jacobus W. Aplicação de filmes de siliceto de titânio na
fabricação
de transistores nMOS. In: III CONGRESSO DA SOCIEDADE BRASILEIRA DE
MICROELETRÔNICA,
1988, São Paulo. Anais do III Congresso da Sociedade Brasileira de
Microeletrônica.
Campinas: Cartgraf - editora limitada, 1988. v. 1, p. 31-41.
56 SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos; SWART,
Jacobus W. Medida do Atraso RC em Linhas de
Interconexão.
In: III CONGRESSO DA SOCIEDADE BRASILEIRA DE MICROELETRÔNICA, 1988, São
Paulo.
Anais do III Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletrônica. São Paulo,
SP: Sociedade
Brasileira
de Microeletrônica, 1988. v. 1, p. 260-266.
57 SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos; SWART,
Jacobus W. Escoamento de filmes de PSG por
processamento
térmico rápido. In: II CONGRESSO DA SOCIEDADE BRASILEIRA DE
MICROELETRÔNICA,
1987, Sào Paulo. Anais do II Congresso da Sociedade Brasileira de
Microeletrônica.
Campinas: Cartgraf - editora limitada, 1987. v. 1, p. 424-430.
58 SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos; SWART, Jacobus
W. Estudo Experimental da Densificacao e do
Escoamento
de Camadas de Psg Utilizando Processamento Termico Rapido. In: I CONGRESSO DA
SOCIEDADE
BRASILEIRA DE MICROELETRONICA, 1986, Campinas. Anais do I CONGRESSO DA
SOCIEDADE
BRASILEIRA DE MICROELETRONICA. CAMPINAS, SP, BRASIL: 1986. p. 492-502.
59 SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos; SWART,
Jacobus W. Modelamento de Interconexoes Resistivas.
In: I
CONGRESSO DA SOCIEDADE BRASILEIRA DE MICROELETRONICA, 1986, Campinas. Anais do
I
CONGRESSO
DA SOCIEDADE BRASILEIRA DE MICROELETRONICA. CAMPINAS, SP, BRASIL: 1986.
v. 1,
p. 187-197.
60 SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos; WALDMAN,
B. Interpretacao Rapida do Transitorio C-T do
Capacitor
Mos. In: V SIMPOSIO BRASILEIRO DE MICROELETRONICA, 1985, São Paulo. Anais do V
SIMPOSIO
BRASILEIRO DE MICROELETRONICA. SAO PAULO, SP, BRASIL: 1985. v. 1, p. 79-89.
61 SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos; MARTINO,
João Antonio; WALDMAN, Bernard. Influencia da
Resistencia
Serie Na Curva Caracteristica Capacitancia- Tensao de Capacitores Mos. In: IV
SIMPOSIO
BRASILEIRO
DE MICROELETRONICA, São Paulo. Anais do IV SIMPOSIO BRASILEIRO DE
MICROELETRONICA.
SAO PAULO, SP, BRASIL: 1984. v. 1, p. 105-111.
62 SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos; MARTINO,
João Antonio; WALDMAN, Bernard. Determinacao da
Capacitancia
de Alta Frequencia de Um Capacitor Mos. In: III SIMPOSIO BRASILEIRO DE
MICROELETRONICA,
1983, São Paulo. Anais do III SIMPOSIO BRASILEIRO DE MICROELETRONICA.
SAO
PAULO, SP, BRASIL: 1983. v. 1, p. 589-599.
63 MARTINO, João Antonio; SANTOS FILHO,
Sebastiao Gomes dos. Otimizacao dos Parametros Eletricos e
Geometricos
de Dispositivos Nmoscom Carga Em Deplecao. In: III SIMPOSIO BRASILEIRO DE
MICROELETRONICA,
1983, São Paulo. Anais do III SIMPOSIO BRASILEIRO DE MICROELETRONICA.
SAO
PAULO, SP, BRASIL: 1983. v. 1, p. 491-501.
8.1.2
Trabalhos resumidos em eventos
1 SANTOS, Regis Eugenio dos; DOI, Ioshiaki;
SWART, Jacobus W; SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes
dos.
Investigation of Ni Silicides Formation on (100) Si by X-ray Diffraction (XRD).
In: XXIV CBRAVIC,
2003,
Bauru. Anais do XXIV CBrAVIC. São Paulo: Sociedade Brasileira de Vácuo, 2003.
v. 1, p. 119-119.
2 SANTOS, Regis Eugenio dos; DOI, Ioshiaki;
DINIZ, José Alexandre; SWART, Jacobus W; SANTOS
FILHO,
Sebastiao Gomes dos. Microstructure Characterization of Agglomerations Formed
on Ni and Ni(Pt)
Silicide
Thin Films with SEM/EDS. In: ICMAT 2003 - INTERNATIONAL CONFERENCE ON MATERIALS
FOR
ADVANCED TECHNOLOGIES, 2003, Singapura. Proceedings of the ICMAT 2003 -
International
Conference
on Materials for Advanced Technologies. Singapura: ICMAT2003, 2003. v. 147, p.
539-540.
3 NAVIA, Alan Rodrigo; SANTOS FILHO,
Sebastiao Gomes dos. Characterization of Electroless Nickel
Films
Plated on Polysilicon Gate Electrodes. In: XXIII CONGRESSO DE APLICAÇÕES DE
VÁCUO NA
INDÚSTRIA
E NA CIÊNCIA, 2002, Florianópolis. Anais do XXIII Congresso de Aplicações de
Vácuo na
Indústria
e na Ciência. Florianópolis: Universidade Federal de Santa Catarina, 2002. v.
1, p. 67.
4 TOQUETTI, Leandro Zeidan; NOGUEIRA,
Willian Aurélio; SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos.
Influence
of the cleaning procedure on the surface roughness of silicon wafers. In: 201ST
MEETING OF
THE
ELECTROCHEMICAL SOCIETY, 2002, Philadelphia. Proceedings of the 201st Meeting
of the
Electrochemical
Society. Pennington, USA: Electrochemical Society, 2002. v. 1, p. 31.
5 HASAN, Nasser Mahmoud; SANTOS FILHO,
Sebastiao Gomes dos; MALLETT, J M; SCHWARZACHER,
Walther.
Kinetic Roughening of Electroless Cu Films. In: ANNUAL APS MARCH MEETING 2002,
2002,
Indianapolis.
Annual APS March Meeting 2002. USA: APS, 2002.
6 NOGUEIRA, Willian Aurélio; TOQUETTI,
Leandro Zeidan; SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos. The
effect
of HNO3/HF-last cleanings on the MOS gate oxide integrity. In: 201ST MEETING OF
THE
ELECTROCHEMICAL
SOCIETY, 2002, Philadelphia. Proceedings of the 201st Meeting of the
Electrochemical
Society. Pennington, USA: Electrochemical Society, 2002. v. 1, p. 14.
7 HASAN, Nasser Mahmoud; MALLETT, Jonathan;
SCHWARZACHER, Walther; SANTOS FILHO,
Sebastiao
Gomes dos. Dynamic Scaling in Electroless Cu Deposition. In: THE 200TH MEETING
OF THE
ELECTROCHEMICAL
SOCIETY, 2001, San Francisco. Meeting Abstracs - 2001 Joint International
Meeting.
Pennington: Electrochemical Society, 2001. v. 2001-2, p. 704-704.
8 NAVIA, Alan R; SANTOS FILHO, Sebastiao
Gomes dos. Electrical Characterization of Electroless Nickel
Films
onto MOS Gates. In: XXII CONGRESSO BRASILEIRO DE APLICAÇÕES DE VÁCUO NA
INDÚSTRIA
E NA CIÊNCIA (CBRAVIC), 2001, Guaratinguetá. XXII Congresso Brasileiro de
Aplicações de
Vácuo
na Indústria e na Ciência (CBRAVIC). Campinas: Sociedade Brasileira de Vácuo,
2001. v. 1, p.
139-139.
9 NAVIA, Alan Rodrigo; SANTOS FILHO,
Sebastiao Gomes dos. Electrical Characterization of MOS
capacitors
with gate of nickel/aluminum. In: IV WORKSHOP DO SIBRATI (SISTEMA BRASILEIRO DE
TECNOLOGIA
DE INFORMAÇÃO), 2001, São Paulo. Extended Abstracts of the IV Workshop do
SIBRATI.
São Paulo: LSI/USP, 2001. v. 1.
10 REIS, Ronaldo Willian; SANTOS FILHO,
Sebastiao Gomes dos. Electroless Plating of Nickel onto
C54-TiSi2
as Diffusion Barrier. In: XXII CONGRESSO BRASILEIRO DE APLICAÇÕES DE VÁCUO NA
INDÚSTRIA
E NA CIÊNCIA, 2001, Guaratinguetá. Anais da XXII CBRAVIC. Campinas, SP:
Sociedade
Brasileira
de Vácuo, 2001. v. 1, p. 134-134.
11 REIS, Ronaldo Willian; SANTOS FILHO,
Sebastiao Gomes dos. Fabrication of n+p diodes with contacts
Al/Ni/TiSi2.
In: IV WORKSHOP DO SIBRATI, 2001, São Paulo. Proceedings of the IV Workshop do
SIBRATI.
São Paulo: LSI/EPUSP, 2001. v. 1.
12 HASAN, Nasser Mahmoud; MALLETT, J M; SANTOS
FILHO, Sebastiao Gomes dos; SCHWARZACHER,
Walther.
First Observation of Anomalous Scaling in Electrodeposited Films. In: AVS 48TH
INTERNATIONAL
SYMPOSIUM, 2001, San Francisco. AVS 48th International Symposium. USA: AVS,
2001.
13 TOQUETTI, Leandro Zeidan; SANTOS FILHO,
Sebastiao Gomes dos. Influence of the oxynitridation
parameters
on the refractive index and on the thickness uniformity of MOS gate dielectrics
grown by RTN.
In:
INTERNATIONAL WORKSHOP ON DEVICE TECHNOLOGY: ALTERNATIVES TO SIO2 AS GATE
DIELECTRIC
FOR FUTURE SI-BASED MICROELECTRONICS, 2001, Porto Alegre. Materials Research
Society
- Workshop Series - Book of Abstracts. Materials Research Society - Workshop
Series, 2001. v. 1,
p.
51-51.
14 TOQUETTI, Leandro Zeidan; SANTOS FILHO,
Sebastiao Gomes dos. Influence of the silicon thermal
nitridation
in the uniformity of gate dielectric thickness grown by RTP. In: IV WORKSHOP DO
SIBRATI,
2001,
São Paulo. Proceedings of the IV Workshop do SIBRATI. São Paulo: LSI/EPUSP,
2001. v. 1.
15 HASHIMOTO, Alexandre Ichiro; SANTOS FILHO,
Sebastiao Gomes dos. Morphological study of cobalt
thin
films deposited by electroless onto Si (100) activated by palladium. In: IV
WORKSHOP DO SIBRATI,
2001,
São Paulo. Proceedings of the IV Workshop do SIBRATI. São Paulo: LSI/EPUSP,
2001. v. 1.
16 MARQUES, Angelo Eduardo Battistini; NAVIA,
Alan Rodrigo; SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos;
SONNENBERG,
Victor; MARTINO, João Antonio. Physical and Electrical Characterization of
Electroless Ni
films
depositec onto Al gate of MOS capacitors. In: THIRD BRAZILIAN-GERMAN WORKSHOP ON
APPLIED
SURFACE SCIENCE, 2001, Florianópolis. Proceedings of the Third Brazilian-German
Workshop
on
Applied Surface Science. Florianópolis: UFSC, 2001. v. 1.
17 NOGUEIRA, Willian Aurélio; SANTOS FILHO,
Sebastiao Gomes dos. The influence of NH4OH and HNO3
concentrations
on the micro-roughness of silicon wafer surfaces. In: IV WORKSHOP OF SIBRATI
(ACRONYM
IN PORTUGUESE FOR BRAZILIAN SYSTEM), 2001, São Paulo. Proceedings of the IV
Workshop
of SIBRATI. São Paulo: LSI/EPUSP, 2001. v. 1.
18 NAVIA, Alan Rodrigo; SONNENBERG, Victor;
MARQUES, Angelo Eduardo Battistini; SANTOS FILHO,
Sebastiao
Gomes dos; MARTINO, João Antonio. Caracterização elétrica de filmes finos de
níquel obtidos
por
deposição química espontânea sobre alumínio através de capacitores MOS. In: 2O.
SIMPÓSIO DE
INICIAÇÃO
CIENTÍFICA E TECNOLÓGICA, 2000, São Paulo. Anais do 2o. Simpósio de Iniciação
Científica
e Tecnológica. 2000. v. 1, p. BT/09.
19 NAVIA, Alan Rodrigo; SONNENBERG, Victor;
MARQUES, Angelo Eduardo Battistini; SANTOS FILHO,
Sebastiao
Gomes dos; MARTINO, João Antonio. Caracterização elétrica de filmes finos de
níquel obtidos
por
deposição química espontânea sobre alumínio através de capacitores MOS. In: 8O.
SIMPÓSIO
INTERNACIONAL
DE INICIAÇÃO CIENTÍFICA DA UNIVERSIDADE DE SÃO PAULO - CICTE, 2000, São
Carlos.
Anais do 8o. Simpósio Internacional de Iniciação Científica da Universidade de
São Paulo - CICTE.
2000.
v. 1.
20 FONTES, Marcelo B A; MARQUES, Angelo E B;
SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos. Development of
a
Highly Sensitive Chemical Microsensor. In: SECOND IBEROAMERICAN CONFERENCE ON
SENSORS
(IBERSENSORS
2000), 2000, Argentina. Proceendings of the Second IberoAmerican Conference on
Sensors
(Ibersensors 2000). 2000. v. 1, p. 68-69.
21 HASAN, Nasser Mahmoud; MARQUES, Ângelo
Eduardo Battistini; SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes
dos.
Electroless copper deposition onto Ni/ Si(100). In: III LSI WORKSHOP ON
MICROELECTRONICS
AND
MICROSYSTEMS, 2000, São Paulo. Proceedings of the III LSI Workshop on
Microelectronics and
Microsystems.
São Paulo: LSI/EPUSP, 2000. v. 1.
22 SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos. Rapid
thermal growth of silicon-oxide glasses onto silicon wafer
surface.
In: III LSI WORKSHOP ON MICROELECTRONICS AND MICROSYSTEMS, 2000, São Paulo.
Proceedings
of the III LSI Workshop on Microelectronics and Microsystems. São Paulo:
LSI/EPUSP, 2000.
v. 1.
23 TOQUETTI, Leandro Zeidan; SANTOS FILHO,
Sebastiao Gomes dos. Silicon oxynitrides grown by RTP to
be used
as gate dielectrics in MOS devices. In: III LSI WORKSHOP ON MICROELECTRONICS
AND
MICROSYSTEMS,
2000, São Paulo. Proceedings of the III LSI Workshop on Microelectronics and
Microsystems.
São Paulo: LSI/EPUSP, 2000. v. 1.
24 TOLEZANI, K W; DEUS, Roseli L de; SANTOS
FILHO, Sebastiao Gomes dos. Hipermídia aplicada ao
ensino
de Eletrônica - Sítio aprenda Eletrônica. In: 7O. SIMPÓSIO DE INICIAÇÃO
CIENTÍFICA DA USP,
1999,
São Paulo. Anais do 7o. Simpósio de Iniciação Científica da USP. São Paulo: USP,
1999. v. 1.
25 NOGUEIRA, Willian Aurélio; SANTOS FILHO,
Sebastiao Gomes dos. A New Technique to obtain the MOS
Gate
Oxide Thickness and electric breakdown field distributions from Fowler-Nordheim
Tunneling Current.
In:
DMI WORKSHOP '98, 1998, São Paulo. Proceedings of the DMI Workshop '98. São
Paulo:
LSI/EPUSP,
1998. v. 1.
26 HASHIMOTO, Alexandre Ichiro; SANTOS FILHO,
Sebastiao Gomes dos. Experimental Study on the
Mechanical
Stress and on the Morphology of Copper Thin Films Deposited by Electroless
Plating onto Si
(100).
In: DMI WORKSHOP '98, 1998, São Paulo. Proceedings of the DMI Workshop '98. São
Paulo:
LSI/EPUSP,
1998.
27 ARAÚJO, Hugo Puertas de; SANTOS FILHO,
Sebastiao Gomes dos. Fabrication and Characterization of
Gate-Controlled
Diodes. In: DMI WORKSHOP '98, 1998, São Paulo. Proceedings of the DMI Workshop
'98.
São Paulo: LSI/EPUSP, 1998. v. 1.
28 HASAN, Nasser Mahmoud; SANTOS FILHO,
Sebastiao Gomes dos. Influence of the Transient
Temperature
Profiles and of the Titanium Deposition Procedures (Evaporation or Sputtering)
on the
Morphology
of Titanium Silicide Films Formed onto Si (100). In: DMI WORKSHOP '98, 1998,
São Paulo.
Proceedings
of the DMI Workshop '98. São Paulo: LSI/EPUSP, 1998. v. 1.
29 SOUZA FILHO, José Cândido de; SANTOS FILHO,
Sebastiao Gomes dos. Analysis Of Silicon Surface
Micro-Irregularities
By Laser Light Scattering. In: XII CONFERENCE OF THE BRAZILIAN
MICROELECTRONICS
SOCIETY, 1997, Caxambu. ANALYSIS OF SILICON SURFACE
MICRO-IRREGULARITIES
BY LASER LIGHT SCATTERING. CAXAMBU, MG - BRASIL: 1997. v.
CDROM.
30 SELIGMAN, Luiza; MARTINS, Luís F O; SANTOS
FILHO, Sebastiao Gomes dos; D'AJELLO, Paulo Cezar;
HASENACK,
Claus M; PASA, André A. Dissolução Eletroquímica na Superfície de Si tipo N
influenciada
pela
presença de Cu. In: XX ENCONTRO NACIONAL DE FÍSICA DA MATÉRIA CONDENSADA, 1997,
Caxambu.
Anais do XX Encontro Nacional de Física da Matéria Condensada. São Paulo:
Sociedade
Brasileira
de Física, 1997. v. 1.
31 MARTINS, Luís F O; SELIGMAN, Luiza; SANTOS
FILHO, Sebastiao Gomes dos; D'AJELLO, Paulo C T;
HASENACK,
Claus M; PASA, André A. Eletrodeposição de Cu sobre Si monocristalino. In: XVII
CONGRESSO
BRASILEIRO DE APLICAÇÕES DE VÁCUO NA INDÚSTRIA E NA CIÊNCIA, 1997,
Xérem.
Anais do XVII Congresso Brasileiro de Aplicações de Vácuo na Indústria e na
Ciência. Campinas:
Sociedade
Brasileira de Vácuo, 1997. v. 1.
32 SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos;
HASENACK, Claus M. A Mechanism for electroless Cu plating
onto
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of
the Conference of the Materials Research Society. USA: MRS, 1996. v. 1, p. J-4.
33 SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos; PIRES,
Marcelo O. Construção de termopares sobre lâminas de
silício
para calibração de Fornos RTP. In: XV CONGRESSO DE INICIAÇÃO CIENTÍFICA E
TECNOLÓGICA
(CICTE), 1996, São Carlos. Anais do XV Congresso de Iniciação Científica e
Tecnológica
(CICTE).
São Carlos: USP, 1996. v. EL, p. 3144.
34 SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos; MARTINS,
Luís F O; D'AJELLO, Paulo C T; PASA, André A;
HASENACK,
Claus M. Electroless and Electro-plating of Cu onto Si. In: CONFERENCE OF THE
MATERIALS
RESEARCH SOCIETY - SPRING MEETING, 1996, Strasbourg. Proceedings of the
Conference
of the Materials Research Society. USA: MRS, 1996. v. 1, p. J-3.
35 SOUZA FILHO, José Cândido de; SANTOS FILHO,
Sebastiao Gomes dos; HASENACK, C.m. Influence
Of
Different Rapid Themal Oxidation Recipes On The Rms Roughness Of The Si-Sio2
Interface. In: XI
CONFERENCE
OF THE BRAZILIAN MICROELECTRONICS SOCIETY, 1996, Águas de Lindóia.
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THE
SI-SIO2 INTERFACE. ÁGUAS DE LINDÓIA, SP - BRASIL: 1996. v. 1, p. 735-737.
36 ARAES, L G; SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes
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fornos
RTP. In: XV CONGRESSO DE INICIAÇÃO CIENTÍFICA E TECNOLÓGICA EM ENGENHARIA
(CICTE),
1996, São Carlos. Anais do XV Congresso de Iniciação Científica e Tecnológica
em Engenharia
(CICTE).
ão Carlos: USP, 1996. v. EL, p. 3145.
37 SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos;
HASENACK, C.m. The Electroless-Plating Mechanism Of Copper
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ELECTROCHEMICAL
SOCIETY. LOS ANGELES, USA: 1996. v. 1, p. 1033-1034.
38 SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos;
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Eletroquímica
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1996,
Águas de Lindóia. Anais do XIX ENCONTRO NACIONAL DE FÍSICA DA MATÉRIA
CONDENSADA
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DE LINDÓIA: 1996. v. 1, p. P263.
39 ARAÚJO, Hugo P de; SANTOS FILHO, Sebastiao
Gomes dos. Um processo simples para construção de
células
solares de silício. In: XV CONGRESSO DE INICIAÇÃO CIENTÍFICA E TECNOLÓGICA EM
ENGENHARIA,
1996, São Carlos. Anais do XV Congresso de Iniciação Científica e Tecnológica
em
Engenharia.
São Carlos: USP, 1996. v. EL, p. 3143.
40 SOUZA FILHO, José Cândido de; SANTOS FILHO,
Sebastiao Gomes dos; HASENACK, C.m. Análise da
Rugosidade
Superficial Por Espalhamento de Luz Laser de Lâminas de Silício Após Diferentes
Processos
de
Oxidaçào Térmica. In: XIV CONGRESSO DE INICIAÇÃO CIENTÍFICA E TECNOLÓGICA EM
ENGENHARIA,
1995, São Carlos. Anais do XIV CONGRESSO DE INICIAÇÃO CIENTÍFICA E
TECNOLÓGICA
EM ENGENHARIA. SÃO CARLOS, SP - BRASIL: 1995. v. 1, p. 1005-1005.
41 LOPES, M.c.v.; SANTOS FILHO, Sebastiao
Gomes dos; HASENACK, C.m.; BARANAUSKAS, V. Si/Sio2
Electronic
Roughness: A Consequence Of Si/Sio2 Interface Roughness. In: 1ST
BRAZILINA/GERMAN
WORKSHOP
ON APPLIED SURFACE SCIENCE, 1995, Mangaratiba. Proceedings of the 1ST
BRAZILINA/GERMAN
WORKSHOP ON APPLIED SURFACE SCIENCE. MANGARATIBA, RJ - BRASIL:
1995.
p. 25-25.
42 SOUZA FILHO, José Cândido de; ARAES, Fábio
G; SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos;
HASENACK,
Claus M. Caracterização da rugosidade superficial de lâminas de silício por
espalhamento de
luz.
In: II SIMPÓSIO DE INICIAÇÃO CIENTÍFICA USP/CNPQ, 1994, São Paulo. Anais do II
Simpósio de
Iniciação
Científica USP/CNPq. São Paulo: USP, 1994. v. 1.
43 LEITE, Nery G; SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes
dos; HASENACK, Claus M; ZUFFO, João Antonio.
Utilização
de SEM no estudo da interdifusão Si/Al. In: XIV COLÓQUIO DA SOCIEDADE
BRASILEIRA DE
MICROSCOPIA
ELETRÔNICA, 1993, Caxambu. Anais do XIV Colóquio da Sociedade Brasileira de
Microscopia
Eletrônica. SBME, 1993. v. 1.
44 SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos; SWART,
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Vacuum
using a Graphite Heater. In: 173TH MEETING OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY,
1987,
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Proceedings of the 173th Meeting of the Electrochemical Society. USA:
Electrochemical Society,
1987.
v. RNP, p. 1864.
45 SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos; WALDMAN,
Bernard. Características C X V de Capacitores
MOS.
In: III CONGRESSO DE INICIAÇÃO CIENTÍFICA E TECNOLÓGICA EM ENGENHARIA, 1984,
São
Carlos.
Anais do III Congresso de Iniciação Científica e Tecnológica em Engenharia
(CICTE). São Carlos:
USP,
1984. v. EL, p. 17.1.
8.1.3
Artigos completos publicados em periódicos
1 CARVALHO, A T; SILVA, M L P da;
NASCIMENTO FILHO, A P; JESUS, D P; SANTOS FILHO, Sebastiao
Gomes
dos. Improvement on organic compound adsorption and/or detection by using
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deposited
onto highly rough silicon substrates. Sensors And Actuators B-Chemical,
inpress-
www.sciencedirect.com,
p. 1-7, 2005.
2 HASAN, Nasser Mahmoud; MALLET, J J;
SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos; PASA, André Avelino;
SCHWARZACHER,
Walther. Dynamic scaling of the surface roughness of Cu deposited using
chemical
bath.
Physical Review B - Condensed Matter And Materials Physics, USA, v. 67, n. 008,
p. 14011-14014,
2003.
3 NOGUEIRA, Willian Aurélio; SANTOS FILHO,
Sebastiao Gomes dos. Influência das limpezas químicas
úmidas
H2O/H2O2/NH4OH e H2O/HF/HNO3 na micro-rugosidade de lâminas de silício. Revista
Brasileira
de
Aplicações de Vácuo, São Paulo, v. 22, n. 4, p. 53-58, 2002.
4 OLIVEIRA, Ivo C; MASSI, Marcos; SANTOS
FILHO, Sebastiao Gomes dos; OTTANI, C; MACIEL, Homero
S;
MANSANO, Ronaldo D. Dielectric Characteristics of AlN films Grown by d.c.-magnetron
sputtering
discharge.
Diamond and Related Materials, Elsevier - Holanda, v. 10, p. 1317-1321, 2001.
5 MARQUES, Angelo E B; SANTOS FILHO,
Sebastiao Gomes dos; NAVIA, Alan R; SONNENBERG, Victor;
MARTINO,
João Antonio. Physical and Electrical Characterization of Thin Nickel Films
Obtained from
Electroless
Plating onto Aluminum. Physica Status Solidi
A, Berlim, Alemanha, v. 187, n. 1, p. 1-10, 2001.
6 MARTINS, L.f.o.; SELIGMAN, L.; SANTOS
FILHO, Sebastiao Gomes dos; D'AJELLO, P.c.t.; LOSCH,
W.p.;
HASENACK, C.m.; PASA, A.a. Eletrodeposicao de Cobre Sobre Si Monocristalino.
Revista Brasileira
de
Aplicações de Vácuo, São Paulo, v. 17, n. 1, p. 52-58, 1998.
7 SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos;
HASENACK, C.m. A Mechanism For Electroless Cu Plating Onto
Si.
MICROELECTRONIC ENGINEERING, Elsevier - HOLANDA, v. 33, p. 149-155, 1997.
8 MARTINS, L.o.f.; SELIGMAN, L.; SANTOS
FILHO, Sebastiao Gomes dos; S.G.D.; D'AJELO, P.c.t.;
HASENACK,
C.m.; PASA, A.a. Electrochemical Evidence Of A Copper-Induced Etching Of N-Type
Si In
Diluted
Hydrofluoric Acid Solutions. JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY, ESTADOS
UNIDOS,
v. 144, n. 5, p. L106-L108, 1997.
9 SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos;
MARTINS, L.f.o.; D'AJELLO, P.c.t.; PASA, A.a.; HASENACK,
C.m.
Electroless And Electro-Plating Of Cu Onto Si. MICROELECTRONIC ENGINEERING,
Elsevier -
HOLANDA,
v. 33, p. 59-64, 1997.
10 LOPES, M.c.v.; SANTOS FILHO, Sebastiao
Gomes dos; HASENACK, C.m.; BARANAUSKAS, V. The
Influence
Of Si/Sio2 Interface Roughness On Electronic Roughness. JOURNAL OF THE
ELECTROCHEMICAL
SOCIETY, ESTADOS UNIDOS, v. 143, n. 3, p. 1021-1025, 1996.
11 SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos;
HASENACK, C.m.; SALAY, L.c.; MERTENS, P.w. A Less Critical
Cleaning
Procedure For Silicon Wafers Using Diluted Hf Dip And Boiling In Isopropyl Alcohol As Final
Steps.
JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY, ESTADOS UNIDOS, v. 142, n. 3, p.
902-907,
1995.
12 SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos; S.G.D.;
HASENACK, C.m. Achievement Of High Quality Thin
Gate
Oxides Grown By Rapid Thermal Oxidation. JOURNAL OF SOLID-STATE DEVICES AND
CIRCUITS,
BRASIL, v. 3, n. 1, p. 1-9, 1995.
13 SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos;
HASENACK, C.m.; LOPES, M.c.v.; BARANAUSKAS, V. Rapid
Thermal
Oxidation Of Silicon With Different Thermal Annealing Cycles In Nitrogen:
Influence On Surface
Micro-Roughness
And Electrical Characteristics. SEMICONDUCTOR SCIENCE AND TECHNOLOGY,
REINO
UNIDO, v. 10, p. 990-996, 1995.
14 SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos; SWART,
Jacobus W. Rapid Thermal flow of PSG films in
vacuum
using a graphite heater. J Electrochem Soc, Washington DC, v. 137, n. 4, p.
1252-1260, 1990.
15 MARTINO, J.a.; SANTOS FILHO, Sebastiao
Gomes dos. Projeto de Um Inversor Básico de Uma
Tecnologia
Nmos Com Carga Em Depleção. Revista Pesquisa & Tecnologia FEI, Faculdade de
Engenharia
Indust, v. 7, n. 1, p. 52-62, 1987.
8.1.4
Capítulos de livros publicados
1 SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos.
Eletrônica Experimental (Volume I) -
Fontes de Tensão e
Corrente.
In: SEABRA, A.c. (Org.). Eletrônica Experimental. São Paulo, 1999, v. 1, p.
75-100.
8.1.5
Textos em revistas (magazines)
1 SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos. A tecnologia
dos Nanochips: Inovações e Perspectivas. Revista
Saber
Eletrônica, São Paulo, v. 374, p. 11-17, 01 mar. 2004.
2 SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos.
Nanochips: As nanotecnologias e a fabricação desses circuitos
ultra-integrados.
Revista Saber Eletrônica, São Paulo, v. 373, p. 12-18, 01 fev. 2002.
3 REIS, Ronaldo Willian; SANTOS FILHO,
Sebastiao Gomes dos. Construção e Caracterização de Diodos
N+P
com Contatos Al/Ni/TiSi2. Boletim Técnico da Escola Politécnica da USP -
Departamento de
Engenharia
de Sistemas Eletrônicos, São Paulo, v. BT207, p. 1-22, 17 abr. 2003.
4 SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos.
Microeletrônica: evolução das tecnologias e panorama atual no
Brasil
e no Mundo. Saber Eletrônica, São Paulo, v. 366, p. 10-16, 10 jul. 2003.
5 SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos.
Microeletrônica: Projeto de CIs digitais e tecnologias CMOS.
Saber
Eletrônica, São Paulo, v. 367, p. 29-35, 10 ago. 2003.
6 SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos.
Microeletrônica: Projeto de processos CMOS e fabricação em
Foundries.
Saber Eletrônica, São Paulo, v. 368, p. 17-22, 10 set. 2003.
7 SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos.
Microeletrônica: tecnologia e cenário mundial. Saber Eletrônica,
São
Paulo, v. 365, p. 9-14, 10 jun. 2003.
8 SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos.
Controle de mesa XY utilizando motor de passo. Mecatrônica
Atual,
São Paulo, v. 1, p. 28-35, 20 fev. 2002.
9 SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos.
Sistema automatizado de comutação de gases e controle de
fluxo
de massa: aplicação em fornos térmicos. Mecatrõnica Atual, São Paulo, v. 1, p.
18-26, 01 out. 2001.
10 TOQUETTI, Leandro Zeidan; SANTOS FILHO,
Sebastiao Gomes dos. Obtenção de Oxinitretos de Porta
por
Processamento Térmico Rápido Visando a Fabricação de Circuitos Integrados MOS.
Boletim Técnico
da
Escola Politécnica da USP - PSI, São Paulo, v. 1, p. 1-21, 15 maio 2000.
11 ARAÚJO, Hugo Puertas de; SANTOS FILHO,
Sebastiao Gomes dos. Simulação, funcional e elétrica, de
diodos
controlados por porta visando demonstrar a sua aplicabilidade como sensor de
radiação luminosa.
Boletim
Técnico da Escola Politécnica da USP - PSI, São Paulo, v. 1, p. 1-26, 15 maio
2000.
12 NOGUEIRA, Willian Aurélio; SANTOS FILHO,
Sebastiao Gomes dos. A new technique to obtain the MOS
gate
oxide thickness and Electric breakdown field distributions from Fowler-Nordheim
tunneling current.
Boletim
Técnico da Escola Politécnica da USP, São Paulo, v. 1, p. 1-20, 14 maio 1999.
13 HASAN, Nasser Mahmoud; LAGANÁ, Armando Antonio
Maria; SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos.
Contribução
ao estudo da morfologia da superfície e da interface do siliceto de titânio
sobre Si(100)
empregando
a técnica de microscopia de força atômica. Boletim Técnico da Escola
Politécnica da USP,
São Paulo, v. 1, p. 1-9, 14 maio 1998.
14 HASHIMOTO, Alexandre Ichiro; SANTOS FILHO,
Sebastiao Gomes dos. Estudo experimental da tensão
mecânica
em filmes finos de cobre obtidos por evaporação ou deposição eletroquímica
expontânea.
Boletim
Técnico da Escola Politécnica da USP, v. 1, p. 1-9, 14 maio 1998.
15 SOUZA FILHO, José Cândido de; SANTOS FILHO,
Sebastiao Gomes dos. Analysis of silicon surface
microirregularities
by LASER light scattering. Boletim Técnico da Escola Politécnica da USP, v. 1, p.
1-8,
14
maio 1997.
16 SOUZA, Silvana Gasparotto de; LAGANÁ,
Armando Antonio Maria; SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes
dos.
Estudo da influência dos parãmetros de recozimento térmico rápido na morfologia
dos filmes de TiSi2
formados
e sua correlação com a tensão mecãnica. Boletim Técnico da Escola Politécnica
da USP, São
Paulo,
v. 1, p. 1-10, 15 maio 1997.
17 SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos. Um salto
de qualidade. IPESI - Eletro-Eletrõnica, São Paulo, v.
175,
p. 25-26, 01 jan. 1990.
8.1.6
Demais tipos de produção bibliográfica
1 SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos;
SEABRA, Antonio Carlos; LOBO NETTO, Marcio; NOIJE,
Wilhelmus
A M Van. Microeletrônica. São Paulo:
Makron Books, 2000. (Tradução/Livro).
8.2
PRODUÇÃO TÉCNICA
8.2.1
Produtos tecnológicos sem registro ou patente
1 SOUZA FILHO, José Cândido de; SANTOS
FILHO, Sebastiao Gomes dos. Contrução de um rugosímetro
a
LASER. 1993.
8.2.2
Processos ou técnicas sem registro ou patente
1 SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos.
Processo de deposição Eletroquímica de Cobre e Níquel. 2001.
2 SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos.
Processos de limpeza química de lâminas de silício. 2001.
8.2.3
Trabalhos técnicos
1 SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos. Instalação
de um equipamento de microscopia de força atômica.
1999.
8.3
ORIENTAÇÕES CONCLUÍDAS
8.3.1
Mestrado
1 NAVIA, Alan Rodrigo. Estudo experimental
da deposição autocatalítica de níquel visando a fabricação de
microeletrodos
e portas MOS. 2002. 120 f. Dissertação (Mestrado em Engenharia Elétrica
[Sp-Capital]) -
Universidade
de São Paulo, Fundação de Amparo à Pesquisa do Estado de São Paulo. Orientador:
Sebastiao
Gomes dos Santos Filho.
2 REIS, Ronaldo Willian. Construção e
Caracterização de Diodos N+P com contatos Al/Ni/TiSi2/Si. 2001.
150
f. Dissertação (Mestrado em Engenharia Elétrica [Sp-Capital]) - Universidade de
São Paulo, Fundação
de
Amparo à Pesquisa do Estado de São Paulo. Orientador: Sebastiao Gomes dos
Santos Filho.
3 TOQUETTI, Leandro Zeidan. Obtenção de
Oxinitretos de Porta por Processamento Térmico Rápido
Visando
a Fabricação de Circuitos Integrados MOSD. 2000. Dissertação (Mestrado em
Engenharia
Elétrica
[Sp-Capital]) - Universidade de São Paulo, Coordenação de Aperfeiçoamento de
Pessoal de Nível
Superior.
Orientador: Sebastiao Gomes dos Santos Filho.
4 ARAUJO, Hugo Puertas de. Simulação e
Caracterização de Diodos Controlados por Porta Visando a
Fabricação
de Sensores de Radiação Luminosa. 2000. Dissertação (Mestrado em Engenharia
Elétrica
[Sp-Capital])
- Universidade de São Paulo, Conselho Nacional de Desenvolvimento Científico e
Tecnológico.
Orientador: Sebastiao Gomes dos Santos Filho.
5 NOGUEIRA, Willian Aurélio. Estudo Experimental
da Ruptura da Rigidez Dielétrica Em Óxidos de Porta
Crescidos
Por Rto. 1999. Dissertação (Mestrado em Engenharia Elétrica [Sp-Capital]) -
Universidade de
São
Paulo, Coordenação de Aperfeiçoamento de Pessoal de Nível Superior. Orientador:
Sebastiao
Gomes
dos Santos Filho.
6 HASHIMOTO, Alexandre Ichiro. Estudo
Experimental da Tensão Mecânica Em Filmes Finos de Cobre
Obtidos
Por Deposição Eletroquímica Espontânea Sobre Silício. 1998. Dissertação
(Mestrado em
Engenharia
Elétrica [Sp-Capital]) - Universidade de São Paulo, Conselho Nacional de
Desenvolvimento
Científico
e Tecnológico. Orientador: Sebastiao Gomes dos Santos Filho.
7 SOUZA FILHO, José Cândido de. Obtenção da
Rugosidade Rms de Superfíces Recobertas Com Ouro e
Alumínio
Utilizando A Técnica de Espalhamento de Luz Laser Hene. 1997. Dissertação
(Mestrado em
Engenharia
Elétrica [Sp-Capital]) - Universidade de São Paulo, Coordenação de
Aperfeiçoamento de
Pessoal
de Nível Superior. Orientador: Sebastiao Gomes dos Santos Filho.
8.3.2
Doutorado
1 MARQUES, Angelo Eduardo Battistini.
Estudo experimental da deposição química autocatalítica de níquel
para
aplicações em microeletrônica. 2003. 106 f. Tese (Doutorado em Engenharia
Elétrica [Sp-Capital]) -
Universidade
de São Paulo. Orientador: Sebastiao Gomes dos Santos Filho.
2 NOGUEIRA, Willian Aurélio. Obtenção de
óxidos de porta MOS ultrafinos: Influência da limpeza química e
estudo
da ruptura dielétrica. 2003. 202 f. Tese (Doutorado em Engenharia Elétrica
[Sp-Capital]) -
Universidade
de São Paulo, Fundação de Amparo à Pesquisa do Estado de São Paulo. Orientador:
Sebastiao
Gomes dos Santos Filho.
3 HASAN, Nasser Mahmoud. Estudo
Experimental da Deposição Eletroquímica e Análise do Escalamento
Dinâmico
da Rugosidade Superficial de Filmes Finos de Cobre. 2002. 122 f. Tese
(Doutorado em
Engenharia
Elétrica [Sp-Capital]) - Universidade de São Paulo, Conselho Nacional de
Desenvolvimento
Científico
e Tecnológico. Orientador: Sebastiao Gomes dos Santos Filho.
9 DADOS COMPLEMENTARES
9.1
PARTICIPAÇÃO EM BANCAS EXAMINADORAS
9.1.1
Dissertações
1 SWART, Jacobus W; SOUZA, Pablo Rodrigo
de; SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos; DINIZ, José
Alexandre.
Participação em banca de Pablo Rodrigo de Souza. Estudo do Processo de
Fabricação de
Diodo
Schottky de Potência. 2003. Dissertação (Mestrado em Engenharia Elétrica) -
Universidade
Estadual
de Campinas.
2 PEREYRA, Inés; ALBERTIN, Katia Franklin;
SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos; SWART, Jacobus
W.
Participação em banca de Katia Franklin Albertin. Estudo e fabricação de
capacitores MOS com
camada
isolante de SiOxNy depositada por PECVD. 2003. Dissertação (Mestrado em
Engenharia Elétrica
[Sp-Capital])
- Universidade de São Paulo.
3 DOI, Ioshiaki; SANTOS, Regis Eugênio dos;
SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos; SWART, Jacobus
W;
DINIZ, José Alexandre. Participação em banca de Regis Eugênio dos Santos.
Investigação sobre a
formação
e estabilidade térmica dos silicetos de Ni e Ni(Pt) em substratos de Si (100).
2003. Dissertação
(Mestrado
em Engenharia Elétrica) - Universidade Estadual de Campinas.
4 SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos; REIS,
Ronaldo Willian; SWART, Jacobus W; MARTINO, João
Antonio.
Participação em banca de Ronaldo Willian Reis. Construção e Caracterização de
Diodos N+P
com
Contatos Al/Ni/TiSi2/Si. 2001. Dissertação (Mestrado em Engenharia Elétrica
[Sp-Capital]) -
Universidade
de São Paulo.
5 FERNANDES, Francisco Javier Ramirez;
STOLF, Ricardo Germano; SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes
dos;
BIANCO FILHO, Orlando Del. Participação em banca de Ricardo Germano Stolf.
Obtenção de filmes
de
SnO2 com técnicas de baixo custo para aplicação em sensores. 2001. Dissertação
(Mestrado em
Engenharia
Elétrica [Sp-Capital]) - Universidade de São Paulo.
6 SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos;
ARAÚJO, Hugo Puertas de; MARTINO, João Antonio; SWART,
Jacobus
W. Participação em banca de Hugo Puertas de Araújo. Construção e Caracterização
de Diodos
Controlados
por Porta Visando a deteção de radiação luminosa. 2000. Dissertação (Mestrado
em
Engenharia
Elétrica [Sp-Capital]) - Universidade de São Paulo.
7 SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos;
NICOLETT, Aparecido Sirley; MARTINO, João Antonio; BRAGA,
Nelson
de Almeida. Participação em banca de Aparecido Sirley Nicolett. Desenvolvimento
de métodos de
extração
de parâmetros em transistores SOI MOSFET. 2000. Dissertação (Mestrado em
Engenharia
Elétrica
[Sp-Capital]) - Universidade de São Paulo.
8 SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos;
FERREIRA, Eduardo dos Santos; MORIMOTO, Nilton Itiro;
BONEAU,
Olivier. Participação em banca de Eduardo dos Santos Ferreira. Estudo e
Caracterização de
Filmes
SIPOS para Passivação de Dispositivos de Potência. 2000. Dissertação (Mestrado
em Engenharia
Elétrica
[Sp-Capital]) - Universidade de São Paulo.
9 SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos;
FUCKNER, Edson Osvaldo; SARTORELLI, Maria Helena;
D'AJELLO,
Paulo Cezar. Participação em banca de Edson Osvaldo Fuckner. Nucleação e
crescimento de
cobre
eletrodepositado em silício. 2000. Dissertação (Mestrado em Física) -
Universidade Federal de
Santa
Catarina.
10 SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos;
TOQUETTI, Leandro Zeidan; FURLAN, Rogério; VILELA, José
Mário
Carneiro. Participação em banca de Leandro Zeidan Toquetti. Obtenção de
oxinitretos de porta por
processamento
térmico rápido visando a fabricação de circuitos integrados MOS. 2000.
Dissertação
(Mestrado
em Engenharia Elétrica [Sp-Capital]) - Universidade de São Paulo.
11 SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos; CAMILLO,
Luciano Mendes; MARTINO, João Antonio;
PAVANELLO,
Marcelo Antonio. Participação em banca de Luciano Mendes Camillo. Simulação de
dispositivos
SOI MOSFETs utilizando SPICE. 2000. Dissertação (Mestrado em Engenharia
Elétrica
[Sp-Capital])
- Universidade de São Paulo.
12 SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos; FORHAN,
Neisy Amparo Escobar; BRAGA, Nelson de Almeida;
SENNA,
José Roberto. Participação em banca de Neisy Amparo Escobar Forhan. Solda
Direta de
Lâminas
SOI com Tecnologia Smart Cut. 2000. Dissertação (Mestrado em Engenharia
Elétrica
[Sp-Capital])
- Universidade de São Paulo.
13 SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos;
NOGUEIRA, Willian Aurélio; SWART, Jacobus W; DINIZ, José
Alexandre.
Participação em banca de Willian Aurélio Nogueira. Estudo experimental da
ruptura da rigidez
dielétrica
em óxidos de porta MOS crescidos por RTO. 1999. Dissertação (Mestrado em
Engenharia
Elétrica
[Sp-Capital]) - Universidade de São Paulo.
14 SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos; VIANA,
Carlos Eduardo; MORIMOTO, Nilton Itiro; BONEAU,
Olivier.
Participação em banca de Carlos Eduardo Viana. Caracterização Elétrica de
filmes finos de
SiO2-TEOS
depositados por PECVD. 1998. Dissertação (Mestrado em Engenharia Elétrica
[Sp-Capital]) -
Universidade
de São Paulo.
15 SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos; MUNFORD,
Maximiliano Luís; PASA, André Avelino; D`AJELLO,
Paulo
Cezar. Participação em banca de Maximiliano Luís Munford. Eletrodeposição de
filmes finos de
cobalto
em silício tipo N monocristalino. 1998. Dissertação (Mestrado em Física) -
Universidade Federal
de
Santa Catarina.
16 SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos;
HASHIMOTO, Alexandre Ichiro; MURANAKA, Carlos Shiniti;
PASA, André Avelino. Participação em
banca de Alexandre Ichiro Hashimoto. Estudo experimental da
tensão
mecânica e da morfologia em filmes finos de cobre obtidos por deposição
eletroquímica
espontânea
sobre silício. 1998. Dissertação (Mestrado em Engenharia Elétrica [Sp-Capital])
- Universidad
de
São Paulo.
17 SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos; MARQUES,
Angelo Eduardo Battistini; FURLAN, Rogério;
GOLDSTEIN,
Hélio. Participação em banca de Angelo Eduardo Battistini Marques. Estudo da
Sinterização
de
Contatos Al/Ti por Recozimento Térmico Rápido visando Aplicação em Circuitos
Integrados. 1997.
Dissertação
(Mestrado em Engenharia Elétrica [Sp-Capital]) - Universidade de São Paulo.
18 SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos; SOUZA
FILHO, José Cândido de; SWART, Jacobus W;
HORIKAWA,
Osvaldo. Participação em banca de José
Cândido de Souza Filho. Obtenção da rugosidade
RMS
de superfícies recobertas com ouro e alumínio utilizando a técnica de
espalhamento de luz LASER
HeNe.
1997. Dissertação (Mestrado em Engenharia Elétrica [Sp-Capital]) - Universidade
de São Paulo.
9.1.2
Teses
1 FURLAN, Humber; RODRIGUES, Edgar Charry;
SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos; CARRENO,
Marcelo;
RUBIO, Mário Gongora; FERREIRA, Luiz Otávio S. Participação em banca de Humber
Furlan.
Desenvolvimento
de Membranas para Sensores de Pressão utilizando Freamento Eletroquímico. 2003.
Tese
(Doutorado em Engenharia Elétrica [Sp-Capital]) - Universidade de São Paulo.
2 SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos;
MARQUES, Angelo Eduardo Battistini; ANDRADE, Marcelo
Bariatto
Fontes de; CIRINO, Giuseppe A; PASA, André Avelino; VILELA, José Mário C.
Participação em
banca
de Angelo Eduardo Battistini Marques. Estudo Experimental da deposição química
autocatalítica de
níquel
para aplicações em microeletrônica. 2003. Tese (Doutorado em Engenharia
Elétrica [Sp-Capital]) -
Universidade
de São Paulo.
3 SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos;
NOGUEIRA, Wilian Aurélio; MARTINO, João Antonio;
SONNENBERG,
Victor; SWART, Jacobus W; DINIZ, José Alexandre. Participação em banca de
Wilian
Aurélio
Nogueira. Obtenção de óxidos de porta MOS ultrafinos: Influência da limpeza
química e estudo da
ruptura
dielétrica. 2003. Tese (Doutorado em Engenharia Elétrica [Sp-Capital]) -
Universidade de São
Paulo.
4 SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos; HASAN,
Nasser Mahmoud; SWART, Jacobus W; COTTA,
Monica
Alonso; PASA, André Avelino; PEREYRA, Inés. Participação em banca de Nasser
Mahmoud
Hasan.
Estudo Experimental da Deposição Eletroquímica e Análise do Escalamento
Dinâmico da
Rugosidade
Superficial de Filmes Finos de Cobre. 2002. Tese (Doutorado em Engenharia
Elétrica
[Sp-Capital])
- Universidade de São Paulo.
5 MARQUES, Angelo Eduardo Battistini; SANTOS
FILHO, Sebastiao Gomes dos; FURLAN, Rogério;
TANAKA,
Deniol. Participação em banca de Angelo Eduardo Battistini Marques. Deposição
química de
filmes
de cobre e níquel e sua aplicação em circuitos integrados. 2001. Tese
(Doutorado em Engenharia
Elétrica
[Sp-Capital]) - Universidade de São Paulo.
6 SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos;
BELODI, Marcello; MARTINO, João Antonio; DIRANI, Ely Antonio
Tadeu;
NICOLETT, Aparecido Sirley; CARDOSO, Álvaro Romanelli. Participação em banca de
Marcello
Belodi.
Estudo das componentes e modelagem das correntes de fuga em dispositivos SOI
operando em
altas
temperaturas. 2001. Tese (Doutorado em Engenharia Elétrica [Sp-Capital]) -
Universidade de São
Paulo.
7 SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos;
ZAMBOM, Luís da Silva; FURLAN, Rogério; CARREÑO, Marcelo
Nelson
Paez; PASA, André Avelino; DINIZ, José Alexandre. Participação em banca de Luís
da Silva
Zambom.
Obtenção de filmes de nitreto de silício por deposição química assistida por
plasma acoplada
indutivamente.
2000. Tese (Doutorado em Engenharia Elétrica [Sp-Capital]) - Universidade de
São Paulo.
8 SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos;
PAVANELLO, Marcelo Antonio; MARTINO, João Antonio;
SWART,
Jacobus W; CARDOSO, Alvaro Romanelli; DIRANI, Ely Tadeu. Participação em banca
de
Marcelo
Antonio Pavanello. Projeto, Fabricação e Caracterização Elétrica de uma Nova
Estrutura para SOI
MOSFET.
2000. Tese (Doutorado em Engenharia Elétrica [Sp-Capital]) - Universidade de
São Paulo.
9.1.3
Qualificaçôes de doutorado
1 RODRIGUEZ, Edgar Charry; FURLAN, Humber;
SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos; MARTINO,
João
Antonio. Participação em banca de Humber Furlan. Desenvolvimento de Membranas e
Construção
de
Sensores de Pressão utilizando Pós-Processamento. 2002. Exame de qualificação
(Doutorando em
Engenharia
Elétrica [Sp-Capital]) - Universidade de São Paulo.
2 SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos;
NOGUEIRA, Willian Aurélio; MARTINO, João Antonio; DINIZ,
José
Alexandre. Participação em banca de Willian Aurélio Nogueira. Estudo
teórico-experimental da
obtenção
de óxidos e oxinitretos de porta MOS ultra-finos com interfaces ultra-planas.
2002. Exame de
qualificação
(Doutorando em Engenharia Elétrica [Sp-Capital]) - Universidade de São Paulo.
3 SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos;
HASHIMOTO, Alexandre Ichiro; MORIMOTO, Nilton Itiro;
WOLYNEC,
Stephan. Participação em banca de Alexandre Ichiro Hashimoto. Aplicação da
técnica VPD
na
medida de contaminações por metal em superfícies de lâminas de silício. 2001.
Exame de qualificação
(Doutorando
em Engenharia Elétrica [Sp-Capital]) - Universidade de São Paulo.
4 SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos; SOUZA
FILHO, José Cândido de; MURAMATSU, Mikia;
GONÇALVES,
Luís. Participação em banca de José Cândido de Souza Filho. Caracterização
quantitativa
da
contaminação por material particulado em superfícies de lâminas de silício
utilizando as técnicas de
espalhamento
de luz LASER e microscopia de força atômica. 2001. Exame de qualificação
(Doutorando
em
Engenharia Elétrica [Sp-Capital]) - Universidade de São Paulo.
5 SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos; HASAN,
Nasser Mahmoud; PASA, André Avelino. Participação
em
banca de Nasser Mahmoud Hasan. Estudo da nucleação inicial em filmes de cobre
depositados
eletroquimicamente.
2000. Exame de qualificação (Doutorando em Engenharia Elétrica [Sp-Capital]) -
Universidade
de São Paulo.
6 SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos;
BELLODI, Marcelo; MARTINO, João Antonio; BRAGA, Nelson de
Almeida.
Participação em banca de Marcelo Bellodi. Modelagem de Transistores SOI MOS
operando em
altas
temperaturas. 2000. Exame de qualificação (Doutorando em Engenharia Elétrica
[Sp-Capital]) -
Universidade
de São Paulo.
7 SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos; VIANA,
Carlos Eduardo; MORIMOTO, Nilton Itiro; BONEAU,
Olivier.
Participação em banca de Carlos Eduardo Viana. Estudo e desenvolvimento de uma
tecnologia
CMOS-TFT
à baixa temperatura. 1999. Exame de qualificação (Doutorando em Engenharia
Elétrica
[Sp-Capital])
- Universidade de São Paulo.
9.1.4
Trabalhos de Conclusão de Curso de Graduação
1 SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos;
ARAÚJO, Hugo Puertas de; BRAGA, Nelson de Almeida; CHAU,
Wang
Jiang. Participação em banca de Hugo Puertas de Araújo. Projeto de um conjunto
de máscaras,
simulação
do dispositivo com o programa MINIMOS e fabricação de diodos controlados por
porta com
diferentes
geometrias. 1997. Trabalho de Conclusão de Curso (Graduação em Engenharia
Elétrica Sp
Capital)
- Universidade de São Paulo.
9.1.5
Outros tipos
1 PEREYRA, Inés; ALBERTIN, Kátia Franklin;
ALAYO, Marco; SANTOS FILHO, Sebastiao Gomes dos.
Participação
em banca de Kátia Franklin Albertin. Estudo e fabricação de capacitores MOS com
camada
isolante
de SiOxNy depositados por PECVD. 2002. Outra participação (Pós Graduação Em
Engenharia
Elétrica
Sp Capital) - Universidade de São Paulo.
9.2
PARTICIPAÇÃO EM BANCAS DE COMISSÕES JULGADORAS
9.2.1
Outras participações
1 Seleção de Técnico de Laboratório junto
ao Departamento de Engenharia de Sistemas Eletrônicos da
EPUSP.
2002. , Universidade de São Paulo.
9.3
PARTICIPAÇÃO EM EVENTOS
1 19th Symposium on Microelectronics
Technology and Devices - SBMicro 2004. 2004. (Participações em
eventos/Simpósio).
2 I Worshop de Graduação da Grande Área
Elétrica da Escola Politécnica da USP. 2004. (Participações em
eventos/Encontro).
3 IberSensor 2000 - 2nd IberoAmerican
Conference on Sensors. 2000. (Participações em
eventos/Congresso).
4 III Workshop de microeletrônica e
microssistemas do LSI. 2000. (Participações em eventos/Congresso).
5 ICMP99 - Internacional Conference on
Microelectronics and Packaging. 1999. (Participações em
eventos/Congresso).
6 Escola de Óptica Aplicada. 1998.
(Participações em eventos/Simpósio).
7 12th Congress of the Brazilian
Microelectronics Society. 1997. (Participações em eventos/Congresso).
8 A electroless mechanism of Cu plating
onto Si during HF-last cleanings. 1996. (Participações em
eventos/Congresso).
9 Segundo Workshop IBERCHIP. 1996.
(Participações em eventos/Simpósio).
10 10th Congress of the Brazilian
Microelectronics Society/ 1st Ibero American Microelectronics Conference.
1995.
(Participações em eventos/Congresso).
11 First Brazilian/German Workshop on Applied
Surface Science. 1995. (Participações em
eventos/Congresso).
12 The deposition and removal of surface
contaminants from silicon wafers by means of a diluted HF dip
followed
or not by an isopropyl alcohol boil. 1994. (Participações em
eventos/Congresso).
13 The cleaning of silicon wafers with hot
isopropyl alcohol and distilled water as final steps. 1993.
(Participações
em eventos/Congresso).
14 Obtenção de camadas ultra-finas de óxido de
silício por oxidação térmica rápida. 1992. (Participações em
eventos/Congresso).
15 Use of the charge pumping technique for the
evaluation of MOSFET degradation due to the stress in te
silicide/polysilicon
double layer. 1990. (Participações em eventos/Congresso).
16 An experimenta MeasurementTechnique of
Interconnection RC Delay for Integrated Circuits. 1989.
(Participações
em eventos/Congresso).
17 European Workshop on Refractory Metals and
Silicides. 1989. (Participações em eventos/Congresso).
18 IV Congresso da sociedade Brasileira de
Microeletrônica. 1989. (Participações em eventos/Congresso).
19 Aplicação de filmes de siliceto de titânio
na fabricação de transistores nMOS. 1988. (Participações em
eventos/Congresso).
20 Escoamento de filmes de PSG por
processamento térmico rápido em ambiente de vácuo. 1987.
(Participações
em eventos/Congresso).
21 Estudo experimental da densificação e do
escoamento de camadas de PSG utilizando processamento
térmico
rápido. 1986. (Participações em eventos/Congresso).
22 V Simpósio Brasileira de Microeletrônica.
1985. (Participações em eventos/Simpósio).
23 Características C X V de capacitores MOS.
1984. (Participações em eventos/Congresso).
24 Influência da resistência série na curva
característica capacitância-tensâo de capacitores MOS. 1984.
(Participações
em eventos/Simpósio).
25 Otimização dos parâmetros elétricos e
geométricos de dispositivos nMOS ocm carga em depleção. 1983.
(Participações
em eventos/Simpósio).
26 II Simpósio Brasileiro de Microeletrônica.
1982. (Participações em eventos/Simpósio).
9.4
ORIENTAÇÕES EM ANDAMENTO
9.4.1
Mestrado
1 GOZZI, Giuliano. Análise do Escalamento
dinâmico de superficies de cobre obtidas por deposição
eletroquímica.
Início:2003. Dissertação (Mestrado em Engenharia Elétrica [Sp-Capital]) -
Universidade de
São
Paulo, Conselho Nacional de Desenvolvimento Científico e Tecnológico.
(Orientador).
2 PESTANA, Ricardo. Caracterização elétrica
de contatos rasos de siliceto de níquel sobre junções N+P e
P+N.
Início:2003. Dissertação (Mestrado em Engenharia Elétrica [Sp-Capital]) -
Universidade de São
Paulo.
(Orientador).
3 SOUZA, Ricardo de. Modelagem da ruptura
da rigidez dielétrica em óxidos de porta MOS ultrafinos.
Início:2003.
Dissertação (Mestrado em Engenharia Elétrica [Sp-Capital]) - Universidade de
São Paulo.
(Orientador).
4 GAVIOLI, Marcelo de Carvalho. Projeto,
construção e caracterização de fluxímetros. Início:1998.
Dissertação
(Mestrado em Engenharia Elétrica [Sp-Capital]) - Universidade de São Paulo.
(Orientador).
9.4.2
Doutorado
1 NAVIA, Alan Rodrigo. Estudo
teórico-experimental da obtenção de nanofios de Cu/Ni. Início:2002. Tese
(Doutorado
em Engenharia Elétrica [Sp-Capital]) - Universidade de São Paulo, Conselho
Nacional de
Desenvolvimento
Científico e Tecnológico. (Orientador).
2 REIS, Ronaldo Willian. Estudo de Contatos
Rasos de Siliceto de Níquel sobre Junções N+P e P+N.
Início:2001.
Tese (Doutorado em Engenharia Elétrica [Sp-Capital]) - Universidade de São
Paulo,
Fundação
de Amparo à Pesquisa do Estado de São Paulo. (Orientador).
3 TOQUETTI, Leandro Zeidan. Estudo
teórico-Experimental da Obtenção de Oxinitretos de Silício de Porta
MOS
Ultrafinos. Início:2000. Tese (Doutorado em Engenharia Elétrica [Sp-Capital]) -
Universidade de São
Paulo,
Fundação de Amparo à Pesquisa do Estado de São Paulo. (Orientador).
4 ARAUJO, Hugo Puertas de. Microssistema
Integrado de Aquisição de Imagens Sensível ao Estado de
Polarização
da Luz. Início:2000. Tese (Doutorado em Engenharia Elétrica [Sp-Capital]) -
Universidade de
São
Paulo, Fundação de Amparo à Pesquisa do Estado de São Paulo. (Orientador).
5 HASHIMOTO, Alexandre Ichiro. Aplicação da
técnica VPD na medida de contaminações por em metal em
superfícies
de lâminas de silício. Início:1998. Tese (Doutorado em Engenharia Elétrica
[Sp-Capital]) -
Universidade
de São Paulo, Conselho Nacional de Desenvolvimento Científico e Tecnológico.
(Orientador).
6 SOUZA FILHO, José Cândido de.
Caracterização quantitativa da contaminação por material particulado
em
superfícies de lâminas de silício utilizando técnicas de espalhamento de luz
LASER e microscopia de
força
atômica. Início:1997. Tese (Doutorado em Engenharia Elétrica [Sp-Capital]) -
Universidade de São
Paulo,
Fundação de Amparo à Pesquisa do Estado de São Paulo. (Orientador).
10 INDICADORES DE PRODUÇÃO
Produção
bibliográfica - 142
Artigos
publicados em periódicos - 15
Completos
- 15
Trabalhos
em eventos - 108
Completos
- 63
Resumos
- 45
Livros
e capítulos - 1
Capítulos
de livros publicados - 1
Textos
em jornais ou revistas (magazines) - 17
Revistas
(Magazines) - 17
Demais
tipos de produção bibliográfica - 1
Produção
técnica - 4
Produtos
tecnológicos - 1
Produtos
tecnológicos sem registro ou patente - 1
Processos
ou técnicas - 2
Processos
ou técnica sem registro ou patente - 2
Trabalhos
técnicos - 1
Orientações
concluídas - 10
Dissertações
de mestrado - 7
Orientador
principal - 7
Teses
de doutorado - 3
Orientador
principal - 3
Dados
complementares - 72
Participaçôes
em banca de trabalhos de conclusão - 35
Participaçôes
em banca de comissões julgadoras - 1
Participações
em eventos - 26
Orientaçôes
em andamento - 10