Microeletrônica

Dentro da área de interesse deste trabalho, pode-se subdividir em duas categorias os assuntos relacionados.

Processos de Fabricação de Circuitos Integrados

• Técnicas de deposição de filmes finos de óxido de silício;
• Caracterização composicional de filmes de óxido de silício;
• Caracterização elétrica de filmes de óxido de silício.

Tecnologia de Fabricação de CMOS - TFT´s

• Técnicas de deposição de filmes finos de silício;
• Técnicas de cristalização de filmes finos de silício;
• Processos à baixa temperatura (< 600 graus C);
• Corrosão por plasma;
• Litografia;
• Isolantes de porta;
• Caracterização elétrica.