O
grupo de "Filmes Finos" do LSI é orientado
pelo prof. Dr. Nilton I. Morimoto.
Existem
diferentes ramificaçoes em torno do principal objetivo
do grupo, que é a obtenção, caracterização
e aplicação de filmes finos de óxido
de silício (modificados ou não) através
da técnica PECVD.
Entre
os trabalhos atualmente em curso, pode-se citar: