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  CARLOS EDUARDO VIANA
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MSc. Eng. Carlos Eduardo Viana - doutorando 
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Grupo de Trabalho
(Grupo de Filmes Finos do LSI)

O grupo de "Filmes Finos" do LSI é orientado pelo prof. Dr. Nilton I. Morimoto.

Existem diferentes ramificaçoes em torno do principal objetivo do grupo, que é a obtenção, caracterização e aplicação de filmes finos de óxido de silício (modificados ou não) através da técnica PECVD.

Entre os trabalhos atualmente em curso, pode-se citar:

  • Caracterização elétrica de filmes de óxido de silício;
  • Desenvolvimento de uma tecnologia TFT-CMOS à baixa temperatura, com a utilizaçoão destes filmes de óxido de silício depositados como isolante de porta;
  • Obtenção de filmes de silício modificados para aplicação em sensores químicos;
  • entre outros.

 

 

 

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Última publicação: Abril/2001 - JNRDM em Strasbourg/França.